EddyCus TF map 2525SR Series Schichtwiderstand Mapper 
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Kontaktfreies Schichtwiderstand Mapping System
Der EddyCus TF map 2525SR misst automatisiert und berührungsfrei den Schichtwiderstand von Substraten zwischen 50 x 50 mm² und 250 x 250 mm². Nach der manuellen Probenpositionierung erstellt das Messgerät selbständig ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche. Die Messung ist durch den Nutzer einfach konfigurierbar, z.B. für schnelle Messzeiten von unter 1 Minute oder für hohe örtliche Auflösung mit mehr als 100.000 Messpunkten.
Vorteile
- Berührungslose Echtzeit-Messung von Substraten bis 250 x 250 mm²
- Hochauflösendes Schichtwiderstand Mapping von leitfähigen Dünnschichten
- Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
- Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Schichtwiderstandsverteilung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
- Speicherung und Export von Messdaten und Mappingdaten
Messanwendungen
- Schichtwiderstand
- Prüfung der Schichthomogenität
- Defektoskopie und Schichtanalyse
- Messung und Mapping der Schichtdicke metallischer Schichten
- Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
- Substratgrößen: 50 x 50 mm² bis 250 x 250 mm²
- Messbereich: 0,001 – 100 Ohm/sq
Einsatzgebiete
- Architekturglas (LowE-Schichten)
- Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
- OLED & LED-Anwendungen
- Smart-glass Anwendungen
- Graphen-Schichten
- Photovoltaik-Wafer und Zellen
- Halbleiterwafer
- Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
- Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
- Batterieelektroden
- beschichtetes Papier und leitfähige Textilien
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Software & Bedienung
- Hohe Bedienungsfreundlichkeit
- Schnelles, automatisiertes Mapping in Echtzeit
- Einfach zu handhabende statistische Analysefunktionen
- Vielfältige Auswertungsmöglichkeiten und Datenexport-Funktionen
Weitere Produkte in diesem Bereich
Messung / Mapping von optischer Transparenz und Schichtwiderstand
Die Herausforderung bei der Entwicklung und Produktion transparenter, leitfähiger Schichten besteht darin, den bestmöglichen Kompromiss zu erreichen zwischen:
- Niedriger Schichtwiderstand [Ohm/sq]
- Hohe optische Transparenz [%]
- Niedrige Kosten [z.B. Euro/m²]
Abhängig vom Anwendungsbereich müssen der Schichtwiderstand und die optische Transparenz / optische Dichte jeweils ein bestimmtes Niveau einhalten. Zudem sind die Homogenität von Schichtwiderstand und Transparenz, die lokale Fehlerfreiheit und in manchen Schichten auch isotrope oder anisotrope Widerstände von Interesse. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, bietet SURAGUS Hybrid-Lösungen für Forschung und Entwicklung sowie produzierende Unternehmen.
Der EddyCus TF map Hybrid ermöglicht die gleichzeitige Messung von
- Schichtwiderstand [Ohm/sq]
- Optische Transparenz [%] / Absorptionsgrad / optischer Dichte
Vorteile
- Berührungsloses und simultanes Echtzeit-Mapping von Schichtwiderstand und optischer Transparenz
Messanwendungen
- Schichtwiderstand und optische Transparenz
- Optimierung von Schichtsystemen
- Automatische Mappingmessungen
- Messbereich: 0,001 – 100 Ohm/sq Schichtwiderstand und 0 – 100 % optische Transparenz
Weiteres Produkt in diesem Bereich
Messung von elektrischer Anisotropie und Schichtwiderstand
Der EddyCus TF map 2525SR mit optionalem Anistropie-Sensor erlaubt vollflächige ortsaufgelöste Mapping-Messungen des anisotropen Schichtwiderstands und der elektrischen Anisotropie auf Proben bis zu 250 x 250 mm².
Vorteile
- Hochauflösendes Mapping der Schichtwiderstand-Anisotropie von lokal gerichteten leitfähigen Dünnschichten
Messanwendungen
- Charakterisierung elektrisch anisotroper Schichten
- isotroper Schichtwiderstand und 0,1 – 100 Ohm/sq anisotroper Schichtwiderstand
