Berührungsloses Schichtwiderstand-Messgerät und Schichtdicken-Messgerät für Einzelpunktmessungen

Der EddyCus TF lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung
  • Präzise Messung von leitfähigen Dünnschichten
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
  • Speicherung und Export von Messdaten und Messreihen

Messanwendungen

  • Schichtwiderstand
  • Schichtdicke metallischer Schichten
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 200 x 200 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 3.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
Einzelpunkt Schichtwiderstandsmessgerät für die Charakterisierung von Dünnschichten EddyCus® TF lab 2020SR
Einzelpunkt Schichtwiderstandsmessgerät für die Charakterisierung von Dünnschichten EddyCus® TF lab 2020SR von der Seite
Einzelpunkt Schichtwiderstandsmessgerät für die Charakterisierung von Dünnschichten EddyCus® TF lab 2020SR
Einzelpunkt Schichtwiderstandsmessgerät für die Charakterisierung von Dünnschichten EddyCus® TF lab 2020SR mit Waferbeispielt und Software

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings 
Software Schichtwiderstands-Messung EddyCus® TF lab 2020SR

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wie Glas, Folie, Wafer

in Ohm/sq

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