Produktübersicht für SURAGUS Dünnschichtprodukte

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Handheld Contact Tester - EddyCus® TF portable

Der EddyCus TF portable ist ein handliches und portables Messgerät zur schnellen, berührenden Messung des Schichtwiderstands oder von korrelierenden Eigenschaften in der Produktion. Das Handgerät erlaubt auch die Messung verdeckter und verkapselter Schichten. Die Bedienung erfolgt über ein intuitives Touch Display.

 

 

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Einzelpunkt Messgerät - EddyCus® TF lab 2020 - für Proben bis zu 200 x 200 mm

Der EddyCus TF lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.

 

 

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Einzelpunkt Messgerät - EddyCus® TF lab 4040 - für Proben bis zu 500 x 600 mm

Der EddyCus TF lab 4040 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands, insbesondere von großen Substraten. Das flexibel konfigurierbare Tischgerät erlaubt die präzise manuelle Messung von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das Spektrum der Anwendungen umfasst die Messung von dünnen leitfähigen Schichten, dotierten Wafern und leitfähigen Polymerschichten.

 

 

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Bildgebendes Messgerät - EddyCus® TF map 2525 - für Proben bis zu 250 x 250 mm

Der EddyCus TF map 2525SR misst automatisiert und berührungsfrei den Schichtwiderstand von Substraten zwischen 50 x 50 mm² und 250 x 250 mm². Nach der manuellen Probenpositionierung erstellt das Messgerät selbständig ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche. Die Messung ist durch den Nutzer einfach konfigurierbar, z.B. für schnelle Messzeiten von unter 1 Minute oder für hohe örtliche Auflösung mit mehr als 100.000 Messpunkten.

 

 

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Bildgebendes Messgerät - EddyCus® TF map 2530 - für Proben bis zu 300 x 300 mm

Die EddyCus® TF map 2530 Serie misst automatisch und berührungslos den Schichtwiderstand von Proben mit einer Größe bis zu 300 x 300 mm² (12 x 12 Zoll). Nach der manuellen Deponierung der Probe im Gerät, bewegt sich die Probe automatisch unter den Messkopf entlang und nimmt die Messwerte auf. Daraus entsteht eine sehr genaue Abbildung des Schichtwiderstands über die gesamte Probenfläche, welche im Anschluss der Messung in der Software angezeigt wird. Die Messeinstellungen erlauben eine einfache und flexible Wahl zwischen einer kurzen Messzeit von unter 1 Minute oder einer hohen räumlichen Messauflösung von mehr als 100.000 Messpunkten.

 

 

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Bildgebendes Messgerät - EddyCus® TF map 5050 - für Proben bis zu 500 x 500 mm

Der Ed­dy­Cus TF map 5050SR ist ein be­rüh­rungs­frei­er Scan­ner für die hoch­auf­lö­sen­de Vi­sua­li­sie­rung des Schicht­wi­der­stan­des oder kor­re­li­e­ren­der Ei­gen­schaf­ten wie Me­tall­di­cken. Das Sys­tem ist ge­eig­net für Pro­ben­grö­ßen von 50 x 50 mm bis 500 x 500 mm. Das Tisch­ge­rät (bench-top) er­mit­telt selb­stän­dig den Schicht­wi­der­stand an ei­ner Viel­zahl von Mess­punk­ten, ty­pi­scher­wei­se in ei­nem Ras­ter in X und Y von 1 mm.  So­mit wird ein ak­ku­ra­tes Map­ping des Schicht­wi­der­stan­des über die ge­sam­te Pro­ben­flä­che er­zeugt Es ent­ste­hen hoch­auf­lö­sen­de Ei­gen­schafts­bil­der mit vie­len Tau­send Mess­punk­ten in we­ni­gen Se­kun­den bzw. Mi­nu­ten, wel­che ei­ne Viel­zahl von In­for­ma­tio­nen für die Schicht­ent­wick­lung und Qua­li­täts­si­che­rung ent­hal­ten.

 

 

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Inline Überwachungssystem - EddyCus® TF inline

Der EddyCus TF inline misst automatisiert und berührungsfrei Schichteigenschaften wie Metallschichtdicke oder den  Flächenwiderstand auf diversen Substraten mit einer beliebigen Breite und Dicke direkt im Prozess. Typische Substrate sind Glas, Folie, Papier, Wafer, Kunststoffe oder Keramiken. Mittels permanenter Messung bzw. definierter Ermittlung von Messwerten zu vom Anlagenbetreiber definierten Zeitpunkten bzw. Triggersignalen ist eine Prozessüberwachung sowohl an Atmosphäre, als auch und im Vakuum möglich. Die Messung erfolgt in Echtzeit und kann mit der EddyCus TF Control Software live visualisiert, gespeichert oder analysiert werden. Alternativ können die Messwerte auch direkt an die Anlagensteuerung übermittelt und Prozessparameter angepasst werden.

 

 

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Vollflächige Inline-Produktüberwachung - EddyCus® TF inline Sensorline

Eine flächendeckende Wirbelstromüberwachung wird durch den Einsatz der EddyCus TF Sensorline-Lösung erreicht. SURAGUS bietet 8 zusammenfügbare Sensormodule an, die je nach Konfiguration eine Inline-Überwachung auf bis zu 128 Messspuren ermöglichen.

EddyCus vollflächige Inline-Lösungen helfen, die gesamte Breite von kleinen und großflächigen Beschichtungen zu überwachen. Damit lässt sich die gesamte Produkt- und Prozessqualität optimal verfolgen. Da nur Dinge verbessert werden können, die auch gemessen werden, ermöglicht Ihnen unsere Lösung die Optimierung Ihrer Produkt- und Prozessqualität. Dadurch gewinnen Sie einen großen Vorteil gegenüber Ihren Mitbewerbern. Durch unsere einfach zu bedienende Software können Sie Ihre Daten sehr schnell analysieren. Die Überwachung der Prozess- und Produktdaten ist denkbar einfach und ermöglicht es Ihnen, Ihren Output zu verbessern, während Sie Ihre Produktqualität und Prozessdaten überwachen.

 

 

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Inline Bänder und Fäden Messsystem - EddyCus® TF inline WT

Die EddyCus® inline WT Serie ist für dauerhaftes berühungsfreies Inline-Testen von beliebigen leitfähigen Drähten entworfen worden. Diese Lösung unterstützt die Verbesserung der Produktqualität durch eine direkte Prozesskontrolle, die Erhöhung der Materialausbeute und die Durchführung der Wareneingangs- und -ausgangskontrolle.

 

 

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Schicht­wi­der­stand (SR)Me­tall-Di­cke (MT)Leit­fä­hig­keit / Struk­tur / De­fek­te (CT)Op­ti­sche Trans­pa­renz / Dich­te (OT)Elek­tri­sche Ani­so­tro­pie (AI)
Hand­ge­rät EddyCus® TF portable 1010SR EddyCus® TF portable 1010MT EddyCus® TF portable 1010RM
Ein­zel­punkt EddyCus® TF lab 2020SR EddyCus® TF lab 4040SR EddyCus® TF lab 2020MT EddyCus® TF lab 4040MT EddyCus® TF lab 2020RM EddyCus® TF lab 2020HF EddyCus® TF lab 4040RM EddyCus® lab 4040HF EddyCus® TF lab 4040HS EddyCus® TF lab 4040A EddyCus® TF lab 2020A
Ab­bil­dend EddyCus® TF map 2530SR Eddy­Cus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR EddyCus® TF map 2530MT EddyCus® TF map 5050MT EddyCus® TF map 2525MT EddyCus® TF map 5050RM EddyCus® TF map 2530RM EddyCus® TF map 2525HF EddyCus® TF map 2530HF EddyCus® TF inline HF EddyCus® TF map 5050A EddyCus® TF map 2530A
In­li­ne EddyCus® TF inline Sensorline EddyCus® TF inline SR EddyCus® TF inline SR EddyCus® TF inline MT EddyCus® TF inline RM EddyCus® TF inline A

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