EddyCus® TF map 6060

Hochauflösendes System für Leitfähigkeitsbestimmung und Defekt Detektion  

Die Leitfähigkeit eines Materials wird durch eine Vielzahl von Eigenschaften des jeweiligen Materials bestimmt. Dabei wird die Leitfähigkeit nicht nur durch die Struktur und Zusammensetzung beeinflusst, sondern auch durch dessen Reinheit. Der EddyCus TF map 6060 ist ein Wirbelstrommesssystem, welches hochauflösende Eigenschaftsbilder der Leitfähigkeit sowie von diversen korrelierenden Materialeigenschaften oder Defekten darstellt. Das System kann mit verschiedenen EddyCus Wirbelstromsensoren für die Leitfähigkeitsabbildung in hoher Auflösung oder hoher Eindringtiefe oder für Defekterkennung mittels Differentialsensoren ausgestattet werden. Hierbei unterstützt das System die Erstellung von Bildern (Wirbelstrom C- Scans) der Oberfläche mit einem Messpunktabstand von 100 µm bis 10 mm. Das Messsystem verfügt über drei Verfahrachsen und ist in der Lage 2D und 2.5D Bereiche mit einer Größe von bis zu 600 x 600 mm bzw. 24 x 24 Inch automatisiert abzuscannen. Typische Anwendungen decken die Oberflächencharakterisierung von leitfähigen Materialien wie zum Beispiel flache Sputtertargets, SiC-, Graphit- oder Metallplatten oder andere leitfähige Halbzeuge und Beschichtungen. Auch kann das System für die Prüfung der elektrischen Integrität von gedruckten Elektroniken eingesetzt werden.

Die Wirbelstromprüfung ermöglicht die Quantifizierung der Leitfähigkeit [IACS oder  MS/m] bzw. des spezifischen Widerstandes [Ohm m]. Die Leitfähigkeit der Materialien wiederum liefert Informationen über Materialeigenschaften wie beispielsweise Art des Materials bzw. Materialzusammensetzung  und deren Homogenität. Neben der direkten Information über elektrische Eigenschaften, liefert die Leitfähigkeit auch Informationen, welche in vielen Fällen dann Aufschluss über korrelierende mechanische oder thermische Eigenschaften geben können.

Spezifikation

  • Messbereich : 0.1 – 110 % IACS  oder 0.1 - 65 MS/m
  • Probengrößen: 5 x 5 mm bis 600 x 600 mm
  • Formen: flache oder gewölbte Oberflächen
  • Wechselbare Sensoren ja nach Messaufgabe
  • Kundenspezifische Probenaufnahmen und Layout angepasst auf Bauteilformen
  • Datenexport und Report Funktion 

Leitfähigkeitsprüfung und Leitfähigkeitmappings liefern Erkenntnisse über:

  • Materialarten und -reinheit
  • Bewertung der Materialzusammensetzung und -variation
  • Verunreinigungen
  • Abweichungen von Struktureigenschaften (Korngrenzen) sowie der strukturellen Integrität
  • Erstarrungsverhalten von GusswerkstoffenLeitfähigkeitsbeeinflusste Eigenschaften wie Härte, Kaltverfestigung, Spannungszuständen, Korngrenzen, etc.

Materialklassifizierung und -sortierung wird durch die Zuordnung der gemessenen Leitfähigkeit zu den entsprechenden Materialtypen erreicht. Dies ist eine schnelle und zuverlässige Methode zur Trennung von Materialien und seinen Legierungen in verschiedenen Anwendungen, insbesondere Recyclinganwendungen. ?

Anwendungen

  • Sicherstellung von konstanter Materialzusammensetzung und Qualität
  • Prüfung der Schichthomogenität
  • Materialklassifizierung und Sortierung
  • Defektoskopie und Schichtanalyse
  • Qualitätskontrolle für diverse Prozesse wie Härten, Sintern, Schweißen oder Oxidation usw.
  • Materialqualifikation für Funkenerosionsprozesse (EDM)
  • Prozesssicherung für Strukturierungs-, Beschichtungs- und Abtrageprozesse  s

Vorteile

  • Hochauflösende Messungen mit 0.1 – 10 mm Messpunktabstand (pitch / pixel size)
  • Sensormessfleckgrößen von 0.5 mm bis 10 mm
  • Steuerung der Eindringtiefe durch Frequenzvariation (10kHz – 100 Mhz)
  • Kontakt und kontaktfreies messen mit einem konstanten Abstand
  • Auswertesoftware EddyEva für professionelle C-Scan Analysen für Messrezeptdefinition, Fehlstellenanalysen und Effekttrennung

Materialien und Schichten

  • Metalle und Legierungen
  • Halbleiter
  • Kohlenstoff basierende Materialien wie Graphit
  • Leitfähige Keramiken (SiC)
  • Metallschichten und Metallgitterstrukturen

Prozesse

  • Gießen und Sintern
  • Härten und Ausglühen
  • Beschichten (PVD, ALD, (PE)CVD, Galvanik, drucken, Guss, sprühen.)
  • Abtragen (Ätzen, Lappen, Lasers, Erodieren)
  • Dotieren

Nutzerfreundlichkeit 

Das System ermöglicht eine schnelle, benutzerfreundliche Abbildung von ebenen und gekrümmten Proben. Verschiedenste Sensoren stehen mit individuellen Empfindlichkeiten und Ortauflösungen für unterschiedliche Materialsysteme zur Verfügung. Mess- und ggf. Auswerterezepte werden mitgeliefert oder gemeinsam mit dem Anwender erstellt.    

Die Nutzung des Systems ist sehr einfach: Der Benutzer platziert die Probe auf dem Messfeld, lädt das spezifische Messrezept (z.B. Leitfähigkeit oder gut/schlecht Bewertung), startet die Messung und erhält folgend das hochauflösende Eigenschaftsbild. Die Ergebnisse können folgend analysiert und mittels einer automatisierten PDF-Report Option exportiert werden.

Bedienung und Software

  • Steuerung über intuitiven Touch-Display möglich
  • Einfache Einrichtung der Scan Parameter
  • Auswahl von vordefinierten Messrezepten
  • Speichern und Importieren von Messergebnissen
  • Export von Datensätzen (z.B. zu EddyEva, MS Excel, Origin)

Benutzerfreundliches PDF Reporting für standardisierte Dokumentation

EddyEva – Professionelle Wirbelstrom-Analyse-Software

  • Analyse von Wirbelstrommessdaten (C-Scan) und ableiten von Eigenschaftsbildern für diverse Zwecke (auch anwendbar für die Datenauswertung anderer Prüftechnologien)
  • 2D und 3D Datenauswertung
  • Dynamisches GUI-Design (flexibles Docking-Konzept)
  • Erweiterte Impedanzanalyse
  • Verschiedene Datenansichten
  • Intelligente Auswertealgorithmen (Filterung, FFT, etc.)
  • Ausmessfunktion für Effekte und Defekte
  • Erstellung von Auswerterezepten
  • Speicherung und Anwendung bestehender Rezepte auf neue Datensätze
  • Automatisiertes Reporting als PDF oder editierbares Word Dokument
  • Analyse von geladenen Datensätzen
  • Laden und Speichern von Evaluierungsprojekten
  • Manuelle und automatische Festlegung oder Verteilung von ROIs (region of interest)
  • Automatisierte ROI Auswertung
  • Erkennung von Anomalien

Automatischer und manuelle Strukturanalyse

Weiteres Leitfähigkeitsprüfgerät

Stephan Adam


Stephan Adam
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Weitere Information eingeben
Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

Kommentar

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