EddyCus® TF inline arrays

Vollflächige berührungslose Schichtwiderstand- und Schichtdickenmesslösung für die Prozesssteuerung und Produktqualitätskontrolle

EddyCus® TF array ermöglicht ein vollflächiges Überwachen des Produktes durch Wirbelstromsensoren. SURAGUS bietet erweiterbare 8-Sensor-Module an, die je nach Konfiguration auf bis zu 128 inline-Messlinien erweitert werden können.

Die EddyCus® TF Inline-Serie misst berührungslos Schichteigenschaften wie Metallschichtdicke oder Schichtwiderstand auf verschiedenen Substraten.  Typische Substrate sind Glas, Folie, Papier, Wafer, Kunststoff oder Keramik. Die Messungen erfolgen durch permanente Messungen oder durch Triggerereignisse, um äquidistante Ergebnisse in schnell ablaufenden Beschichtungsprozessen zu erhalten oder um an bestimmten Positionen auf kleinen Proben zu messen. Die Überwachung ist sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum möglich. Die Messungen werden mit hoher Abtastrate durchgeführt und können direkt für Prozessleitsysteme und Kundensoftware bereitgestellt werden. Zusätzlich bietet SURAGUS die Überwachungssoftware EddyCus® TF control an, die die Messdaten visualisiert, speichert und auswertet.

 

Vorteile

  • Berührungsfreie Echtzeit-Messung
  • Hohe Messgeschwindigkeit bis zu 50 Messungen je Sekunde
  • Fixe Sensoren-Installation oder traversierende Sensoren-Installation
  • Integration von 1 – 99 Beobachtungslinien pro System
  • Prozesssteuerung im Vakuum und nicht Vakuum
  • Messungen bis nah an den Rand des Substrates sind in vielen Anwendungsfällen möglich
  • Langzeitstabilität durch temperaturkompensierte Messungen auch bei sich verändernden Umgebung
  • Große Abstände zum Testobjekt möglich (z.B. Abstand von 60 mm / 24 inch)
  • Charakterisierung von verdeckten leitfähigen Schichten oder eingeschlossenen Substraten
  • Zahlreiche softwareintegrierte Analyse- und Statistikfunktionen
  • Einfache Einrichtung durch EddyCus RampUp Software inkl. Wizard zur Systemkalibrierung
  • Verschleißfrei
Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Schichtwiderstandsmessung über die gesamte Produktionsbreite
Multisensor-System mit 8 Sensorenpaaren

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Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Inline-Schichtwiderstandsmessung über die gesamte Produktionsbreite
EddyCus® inline array rear view
Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Inline-Schichtwiderstandscharakterisierung über die gesamte Produktionsbreite
EddyCus® inline array front view
Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Inline-Schichtwiderstandsmessung über die gesamte Produktionsbreite
EddyCus® inline array top view
Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Inline-Schichtwiderstandsmessung über die gesamte Produktionsbreite
EddyCus® inline array front top view
Messarray mit 8 Sensorpaaren für eine Inline-Schichtwiderstandsmessung über die gesamte Produktionsbreite
EddyCus® inline array rear top view
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+49 351 32 111 520 oder sales@suragus.com

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Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerätetyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping-Messgerät In-Line-System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

in Ohm/sq

Zusätzliche Informationen