EddyCus® TF inline

Kontaktfreie Schichtdicken- und Schichtwiderstands-Messung im Fertigungsprozess

Der EddyCus TF inline misst automatisiert und berührungsfrei Schichteigenschaften wie Metallschichtdicke oder den  Flächenwiderstand auf diversen Substraten mit einer beliebigen Breite und Dicke direkt im Prozess. Typische Substrate sind Glas, Folie, Papier, Wafer, Kunststoffe oder Keramiken. Mittels permanenter Messung bzw. definierter Ermittlung von Messwerten zu vom Anlagenbetreiber definierten Zeitpunkten bzw. Triggersignalen ist eine Prozessüberwachung sowohl an Atmosphäre, als auch und im Vakuum möglich. Die Messung erfolgt in Echtzeit und kann mit der EddyCus TF Control Software live visualisiert, gespeichert oder analysiert werden. Alternativ können die Messwerte auch direkt an die Anlagensteuerung übermittelt und Prozessparameter angepasst werden.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung
  • Hohe Messgeschwindigkeit bis 1.000 Messungen / Sekunde
  • Fixierte Sensor Installation oder traversierende Sensoren Installation möglich
  • 1 - 99 Sensorlinien je System integrierbar
  • Prozessüberwachung an Atmosphäre und im Vakuum
  • Messung sehr nah am Rand in vielen Anwendungen möglich
  • Hohe Langzeitstabilität durch temperaturkompensierte Messung
  • Große Abstände zum Prüfgut möglich
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten oder verkapselten Substraten
  • Zahlreiche software-integrierte Analyse- und Statistikfunktionen  
  • Einfache Einrichtung mittel Kalibriersoftware
  • Verschleißfrei
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Messanwendungen

  • Schichtwiderstandsmessung von 0.1 mOhm/sq bis 1 kOhm/sq
  • Bestimmung von Schichtdicken metallsicher Schichten im Bereich 2 nm – 2 mm
  • Schichtdickenmessung von Metallfolien
  • Messung der Restfeuchte in Nassschichten mittels Messung der Permittivität    

Prozesse

  • Abscheidung (PVD, ALD, (PE)CVD, Galvanik, Drucken  Sprühen etc.)
  • Abtragung / Strukturierung (Ätzen, Polie­ren, Lasern etc.)
  • Dotierung / Implantation
  • Tempern / Wärmebehandeln
  • Trocknung / Heizen

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Verpackungsmaterialien
  • Displays und Touchscreens
  • Photovoltaik
  • Spiegelbeschichtungen
  • Kondensatoren- Beschichtungen
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-Glas Anwendungen
  • Metallische Schichten und Wafer Metallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterie- und Brennstoffzellen
  • Beschichtetes Papier und leitfähige Textilien
  • Graphen-Schichten
  • Antibakterielle Beschichtungen

Motivation für den Einsatz von Inline Messtechnik

  • Prozessoptimierung / Steuerung für schnellere und günstigere Abscheidung
  • Effizienter Schichtstapel entsprechend der Funktionalität (z.B. hohe Transparenz bei  niedrigem Widerstand, gute Emissivität, gute Barriereeigenschaften)
  • Erhöhung der Schichthomogenität ggf. auf größeren Substraten
  • Optimierung der Durchlaufzeit und der Maschinenauslastung
  • Planung von Wartungsarbeiten („predictive maintainace“)
  • Qualitätssicherung

Für Erreichung diese Ziele bietet SURAGUS inline- und offline- Prüftsysteme an.  

non-contact_inline_sheet_resistance_testing_installation
Inline Schichtwiderstandsprüfung von Dünnschichten
SURAGUS Inline Anisotropie Sensor Schichtwiderstand
kontaktfreie Schichtwiderstandsmessung im Roll-2-Roll Prozess

Zusatzoptionen

  • Standard und kundenangepasste Messbrücken
  • Elektrische Anisotropie-Bestimmung
  • Hardwaretrigger 5/12/24 V oder 4-20 mA
  • Integrierte Temperaturmessung
  • Integrierte optische Sensoren zur Bestimmung der optischen Transparenz / Dichte (OEM)
  • Integrierte Abstandsmessung mittels Ultraschall,  Lasertriangulation oder kapazitiven Sensoren (OEM)

Setups

  • Traversierende oder festinstallierte Sensoren
  • In Atmosphäre oder in Vakuum (ex-vacuo/ in-vacuo)

SURAGUS bietet ein Informationssets bestehend u.a. aus einer allgemeinen Hardwarepräsentation, aus CAD / Stepdateien und Zeichnungen sowie Blockschaltbildern an.

  • Sensoren
    • Sensor M (CAD / Stepdatei und Zeichnung anfragen)
    • Sensor S (CAD / Stepdatei und Zeichnung anfragen)
    • Andere auf Anfrage (XS, L, Kundenlayout)
  • Minischaltschränke
    • M  - 300 x 300 x 232 mm (CAD / Stepdatei, Blockschaltbilder und Zeichnung anfragen)
    • L (CAD / Stepdatei, Blockschaltbilder,  Zeichnung anfragen)
    • Andere auf Anfrage (IP65, S, Kundenlayout)
  • Zubehör
    • Standard und kundenangepasste Messbrücken
    • Vakuumdurchführungen (e.g. KF40)
    • Haltewinkel und Adapterplatten
    • Industrie PCs
    • IO – Modules
    • CAD / Stepdatei und Zeichnung anfragen

Die Abläufe für die Auswahl und die Integration sind standardisiert. Zudem wird eine Checkliste sowie ein SURAGUS Projektmanager als Ansprechpartner bereitgestellt. Die Systemintegration kann sowohl von SURAGUS Service Team als auch vom Käufer autark durchgeführt werden. Einfach zu bedienenden Systemeinrichtungssoftware mittels eines Softwareassistenten ermöglichte eine einfache Inbetriebnahme.  

 

Software “EddyCus TF inline Control” inkl. Datenbankmodul

  • Graphische Live-Ansicht (verschiedene Zeitfenster, von 1 Minute bis 24h)
  • Analyse Ansicht (Datenselektion aus Datenbank, Statistiken)
  • Sortierung nach Zeit, Weg, Rollennummer, Barcode oder Data Matrix Code.
  • Modus zur Erweiterung und Anpassung der Kalibrierung
  • Parametrierdialog von I/O Module für analoge und digitale Datenübermittung sowie die Parametrierung von Alarmen bei Über-/Unterschreitung von Schwellwerten
  • Automatischer und manueller Datenexport (csv, txt, xls, …)
  • Automatische Datenbankbereinung

Alternative Kommunikation

  • Direkte Einbindung der Sensoren mittels .Net Bibliotheken (Beispielprojekt und Anleitung werden zur Verfügung gestellt)
  • Datenübertragung über standardisierte Protokolle (z.B. Modbus) oder TCP/IP-basierte Protokolle
  • Datenzugriff über OPC mittels KEPServer mit ODBC-Client
  • Analoge oder digitale Kommunikation über I/O-Modul(e), frei parametrierbar
  • Datenzugriff über Datenbankmapping
  • Weitere Lösungen auf Anfrage
EddyCus TF inline Control Software

Stephan Adam


Stephan Adam
Sales Manager

+49 (0) 351 321 11-522
info@suragus.com

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Weitere Information eingeben
Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

Kommentar

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