EddyCus® TF lab 2020

Berührungsloses Schichtwiderstand-Messgerät und Schichtdicken-Messgerät für Einzelpunktmessungen

Der EddyCus TF lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung
  • Präzise Messung von leitfähigen Dünnschichten
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
  • Speicherung und Export von Messdaten und Messreihen

Messanwendungen

  • Schichtwiderstand
  • Schichtdicke metallischer Schichten
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 200 x 200 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 3.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
Schichtwiderstands-Prüfgerät EddyCus TF lab 2020
Dünnschicht-Prüfgerät TF lab 2020
Dünnschicht-Schichtwiderstands-Prüfgerät
Wafer Schichtwiderstands-Prüfgerät EddyCus TF lab 2020

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings 
Software Schichtwiderstands-Messung TF lab 2020

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Stephan Adam


Stephan Adam
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Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

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