EddyCus® TF lab 4040

Berührungsloses Schichtwiderstand-Messgerät und Schichtdicken-Messgerät

Der EddyCus TF lab 4040 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands, insbesondere von großen Substraten. Das flexibel konfigurierbare Tischgerät erlaubt die präzise manuelle Messung von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das Spektrum der Anwendungen umfasst die Messung von dünnen leitfähigen Schichten, dotierten Wafern und leitfähigen Polymerschichten.

Vorteile

  • Berührungslose Messung in Echtzeit
  • Präzise Schichtwiderstand-Messung von leitfähigen Dünnschichten auf großen Substraten
  • Schichtdickemessung von metallischen Schichten [nm]
  • Bestimmung von verdeckten leitfähigen Schichten
  • Charakterisierung von verkapselten Substraten
  • Export von Messergebnissen

Anwendungen

  • Schichtwiderstand
  • Schichtdicke metallischer Schichten
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätssicherung
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 400 x 400 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 3.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
Schichtwiderstands Prüfgerät TF lab 4040 Dünnschicht Prüfgerät TF lab 4040 Schichtwiderstandstester Messfeld TF lab 4040 Messung des Schichtwiderstand TF lab 4040 Schichtwiderstands Prüfsensor TF lab 4040

Software & Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktionen
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings 
SURAGUS_EddyCus_TF_Lab_Schichtwiderstand_software

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Optische Transparenz

Anisotropie

Messung von optischer Transparenz und Schichtwiderstand: EddyCus® TF lab Hybrid 

Der EddyCus TF lap Hybrid ermöglicht die gleichzeitige Messung von

  • Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Optische Transparenz [%] / Absorptionsgrad / Optische Dichte

 

Die Herausforderung bei der Entwicklung und Produktion transparenter, leitfähiger Schichten besteht darin, den bestmöglichen Kompromiss zu erreichen zwischen:

  • Niedriger Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Hohe optische Transparenz [%]
  • Niedrige Kosten [z.B. Euro/m²]

 

Abhängig vom Anwendungsbereich müssen der Schichtwiderstand und die optische Transparenz / optische Dichte jeweils ein bestimmtes Niveau einhalten. Zudem sind die Homogenität von Schichtwiderstand und Transparenz sowie die lokale Fehlerfreiheit von Interesse.

 

Vorteile

  • Berührungslose und simultane Echtzeit-Messung von Schichtwiderstand und optischer Transparenz

Anwendungen

  • Schichtwiderstand und optische Transparenz
  • Optimierung von Schichtsystemen
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 400 x 400 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 3.000 Ohm/sq Schichtwiderstand und 0 – 100 % optische Transparenz

 

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Messung von Anisotropie und Schichtwiderstand: EddyCus® TF lab 4040a

Die Messung der elektrischen Anisotropie ist insbesondere dort relevant, wo eine dünne Schicht in eine bestimmte Richtung sehr leitfähig sein soll, während eine hohe optische Transparenz der Schicht erhalten bleiben soll.

Für die Herstellung bestimmter Schichten sind anisotrope Schichtwiderstände wichtig, um eine möglichst effiziente Beschichtung zu erreichen. SURAGUS bietet Schichtwiderstandsmessgeräte mit integriertem Schichtwiderstands-Anisotropiesensor zur präzisen Bestimmung und Messung gerichteter Schichtwiderstände.

Vorteile

  • Kontaktfreie Messung in Echtzeit
  • Präzise Schichtwiderstandsmessung (Ohm/sq oder mOhm/sq) und manuelles Mapping von leitfähigen Schichten bis zu 400 x 400 mm² Probengröße. 
  • Dickemessung für Substrate mit konstanter Leitfähigkeit (µm)

Stephan Adam


Stephan Adam
Sales Manager

+49 (0) 351 321 11-522
info@suragus.com

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Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

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