EddyCus® TF map 2525SR

Kontaktfreies Schichtwiderstand Mapping System

Der EddyCus TF map 2525SR misst automatisiert und berührungsfrei den Schichtwiderstand von Substraten zwischen 50 x 50 mm² und 250 x 250 mm². Nach der manuellen Probenpositionierung erstellt das Messgerät selbständig ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche. Die Messung ist durch den Nutzer einfach konfigurierbar, z.B. für schnelle Messzeiten von unter 1 Minute oder für hohe örtliche Auflösung mit mehr als 100.000 Messpunkten.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung von Substraten bis 250 x 250 mm²
  • Hochauflösendes Schichtwiderstand Mapping von leitfähigen Dünnschichten
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
  • Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Schichtwiderstandsverteilung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
  • Speicherung und Export von Messdaten und Mappingdaten

Messanwendungen

  • Schichtwiderstand
  • Prüfung der Schichthomogenität
  • Defektoskopie und Schichtanalyse
  • Messung und Mapping der Schichtdicke metallischer Schichten
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 50 x 50 mm² bis 250 x 250 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 1.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • beschichtetes Papier und leitfähige Textilien
Sheet resistance mapper measurement field 2525SR
Schichtwiderstands-Mapping-Messfeld-TF-map-2525SR.JPG
Mapping of sheet resistance TF map 2525SR
Eddycus TF map 2525SR sheet resistance mapping device
Thin-film sheet resistance mapper TF map 2525SR

Software & Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Schnelles, automatisiertes Mapping in Echtzeit
  • Einfach zu handhabende statistische Analysefunktionen
  • Vielfältige Auswertungsmöglichkeiten und Datenexport-Funktionen 
Software Screenshot EddyCus TF map 2525SR
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Messung / Mapping von optischer Transparenz und Schichtwiderstand

Die Herausforderung bei der Entwicklung und Produktion transparenter, leitfähiger Schichten besteht darin, den bestmöglichen Kompromiss zu erreichen zwischen:

  • Niedriger Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Hohe optische Transparenz [%]
  • Niedrige Kosten [z.B. Euro/m²]

Abhängig vom Anwendungsbereich müssen der Schichtwiderstand und die optische Transparenz / optische Dichte jeweils ein bestimmtes Niveau einhalten. Zudem sind die Homogenität von Schichtwiderstand und Transparenz, die lokale Fehlerfreiheit und in manchen Schichten auch isotrope oder anisotrope Widerstände von Interesse. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, bietet SURAGUS Hybrid-Lösungen für Forschung und Entwicklung sowie produzierende Unternehmen.

Der EddyCus TF map Hybrid ermöglicht die gleichzeitige Messung von

  • Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Optische Transparenz [%] / Absorptionsgrad / optischer Dichte

Vorteile

  • Berührungsloses und simultanes Echtzeit-Mapping von Schichtwiderstand und optischer Transparenz

Messanwendungen

  • Schichtwiderstand und optische Transparenz
  • Optimierung von Schichtsystemen
  • Automatische Mappingmessungen
  • Messbereich: 0,001 – 1.000 Ohm/sq Schichtwiderstand und 0 – 100 % optische Transparenz

 

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Der EddyCus TF map 2525SR mit optionalem Anistropie-Sensor erlaubt vollflächige ortsaufgelöste Mapping-Messungen des anisotropen Schichtwiderstands und der elektrischen Anisotropie auf Proben bis zu 250 x 250 mm².

Vorteile

  • Hochauflösendes Mapping der Schichtwiderstand-Anisotropie von lokal gerichteten leitfähigen Dünnschichten

Messanwendungen

  • Charakterisierung elektrisch anisotroper Schichten
  • isotroper Schichtwiderstand und 0,1 – 250 Ohm/sq anisotroper Schichtwiderstand

Stephan Adam


Stephan Adam
Sales Manager

+49 (0) 351 321 11-522
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Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

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