EddyCus® TF map 5050SR

Kontaktfreies Schichtwiderstand Mapping System

Der Ed­dy­Cus TF map 5050SR ist ein be­rüh­rungs­frei­er Scan­ner für die hoch­auf­lö­sen­de Vi­sua­li­sie­rung des Schicht­wi­der­stan­des oder kor­re­li­e­ren­der Ei­gen­schaf­ten wie Me­tall­di­cken. Das Sys­tem ist ge­eig­net für Pro­ben­grö­ßen von 50 x 50 mm bis 500 x 500 mm. Das Tisch­ge­rät (bench-top) er­mit­telt selb­stän­dig den Schicht­wi­der­stand an ei­ner Viel­zahl von Mess­punk­ten, ty­pi­scher­wei­se in ei­nem Ras­ter in X und Y von 1 mm.  So­mit wird ein ak­ku­ra­tes Map­ping des Schicht­wi­der­stan­des über die ge­sam­te Pro­ben­flä­che er­zeugt Es ent­ste­hen hoch­auf­lö­sen­de Ei­gen­schafts­bil­der mit vie­len Tau­send Mess­punk­ten in we­ni­gen Se­kun­den bzw. Mi­nu­ten, wel­che ei­ne Viel­zahl von In­for­ma­tio­nen für die Schicht­ent­wick­lung und Qua­li­täts­si­che­rung ent­hal­ten.

Vor­tei­le

  • Be­rüh­rungs­lo­se li­ve Mes­sung
  • Hoch­auf­lö­sen­de Mes­sung mit 1 mm Mess­punktab­stand (0.25 bis 10 mm Pitch be­stell­bar)
  • Mes­sung ist un­ab­hän­gig von Kon­takt­qua­li­tät im vgl. zu kon­tak­tie­ren­den Ver­fah­ren
  • Hoch­auf­lö­sen­de Map­pings von leit­fä­hi­gen Dünn­schich­ten zei­gen Ma­te­ri­al und Pro­zess-In­ho­mo­ge­ni­tä­ten
  • Cha­rak­te­ri­sie­rung auch von ver­deck­ten leit­fä­hi­gen Schich­ten und ver­kap­sel­ten Sub­stra­ten
  • Zahl­rei­che soft­wa­re-in­te­grier­te Ana­ly­se­funk­tio­nen (z.B. Hi­sto­gramm, Stan­dard­ab­wei­chung, Li­ni­ens­cans, Ein­zel­punk­t­ana­ly­sen)
  • La­den, Spei­chern und Ex­por­tie­ren von Mess- und Map­ping­da­ten
  • Nut­zer­freund­li­che PDF Re­por­ting­funk­ti­on für sys­te­ma­ti­sche Do­ku­men­ta­tio­nen

An­wen­dun­gen

  • Be­rüh­rungs­lo­se Schicht­wi­der­stand­s­ab­bil­dung von Dünn­schich­ten
  • Prü­fung von  Me­tall­schicht­di­cken und der Schichtho­mo­ge­ni­tät
  • De­fek­to­sko­pie und Schicht­ana­ly­se
  • Mes­sung und Map­ping der Schicht­di­cke me­tal­li­scher Schich­ten
  • Qua­li­täts­kon­trol­le, Wa­ren­ein­gangs­kon­trol­le, Wa­ren­aus­gangs­kon­trol­le

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • Mess­be­reich: 0,001 – 1.000 Ohm/sq
  • Sub­strat­grö­ßen: 50 x 50 mm² bis 500 x 500 mm²

Pro­zes­se

  • Ab­schei­dung (Sput­tern, Ver­damp­fen, ALD, CVD, Gal­va­nik, Dru­cken, Gie­ßen etc.)   
  • Ab­tra­gen (Ät­zen, Po­lie­ren, La­sern etc.)  
  • Do­tie­rung
  • Tem­pern

Va­ri­an­ten

  • Schicht­wi­der­stand R_sq in [Ohm/sq]
  • Schicht­di­cke me­tal­li­scher Schich­ten [nm, µm]
  • Ani­so­tro­pie-Map­per

Ein­satz­ge­bie­te

  • F&E und QS von leit­fä­hi­gen Schich­ten und Schicht­sys­te­me
  • Me­tal­li­sche Schich­ten und Me­tall­fo­li­en
  • Pho­to­vol­taik (Si und Dünn­schicht PV) 
  • Wa­fer Me­tal­li­sie­run­gen
  • Smart-Glas An­wen­dun­gen / elek­tro­chro­mes Glas / Dy­na­mi­sches Glas / in­tel­li­gen­tes Glas
  • Ar­chi­tek­tur­glas (Lo­wE)
  • Spie­gel­schich­ten
  • Re­fle­xi­ons­schich­ten
  • Elek­tro­den in Ener­gie­spei­cher 
  • Leit­fä­hi­ges Pa­pier und leit­fä­hi­ge Tex­ti­li­en
  • Ent­ei­sungs­schich­ten- und Hei­zan­wen­dun­gen
  • Kon­den­sa­tor­fo­li­en
  • Bat­te­rie­elek­tro­den
  • Dis­plays, Touch­s­creens
  • OLED & LED-An­wen­dun­gen

Ma­te­ria­li­en und Schich­ten

  • Leit­fä­hi­ge Oxid­schich­ten TCO (ITO, AZO, FTO etc.)
  • Dün­ne Me­tall­schich­ten (5nm bis 2 mm je nach Leit­fä­hig­keit)
  • Do­tier­te Halb­lei­ter (z.B. Si­li­zi­um)  
  • Me­tall Git­ter­struk­tu­ren (Me­tal Mes­hes) und Me­tall­draht Struk­tu­ren (Ag-NW)
  • Gra­phe­ne, Gra­phi­te und Car­bon Na­no Tu­bes (CNT)
  • Leit­fä­hi­ge Tin­ten und La­cke
  • An­de­re leit­fä­hi­ge Dünn­schich­ten
Sheet resistance mapping device eddycus TF map 5050SR
Sheet resistance mapper Eddycus TF map 5050SR
Measurement-field sheet resistance mapping device Eddycus TF map 5050SR
SURAGUS TF map 5050SR - Sheet Resistance Mapper
Measurement-field sheet resistance mapping device Eddycus TF map 5050SR

Soft­wa­re und Ge­rä­te­steue­rung

  • Sehr be­nut­zer­freund­li­che  Soft­wa­re
  • Ein­fach zu be­die­nen­de sta­tis­ti­sche Ana­ly­semög­lich­kei­ten
  • Ver­schie­de­ne Da­ten­ana­ly­se, Da­ten­si­che­rung und Ex­port-Op­tio­nen
Software Schichtwiderstand Mapping Eddycus TF map 5050SR

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Stephan Adam


Stephan Adam
Sales Manager

+49 (0) 351 321 11-522
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Welcher physikalische Parameter soll charakterisiert werden? Schichtwiderstand Schichtdicke von leitfähigen Schichten
Zusatzmessung Optische Transparenz Anisotropie Substratdickenmessung
Welchen Messgerättyp suchen Sie? Einzelpunktmessgerät Mapping Messgerät In-line System
Randbedingungen

wie Glas, Folie, Wafer

(in Ohm/sq)

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