Kontaktfreies Schichtwiderstand Mapping System
Der EddyCus TF map 5050SR ist ein berührungsfreier Scanner für die hochauflösende Visualisierung des Schichtwiderstandes oder korrelierender Eigenschaften wie Metalldicken. Das System ist geeignet für Probengrößen von 50 x 50 mm bis 500 x 500 mm. Das Tischgerät (bench-top) ermittelt selbständig den Schichtwiderstand an einer Vielzahl von Messpunkten, typischerweise in einem Raster in X und Y von 1 mm. Somit wird ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche erzeugt Es entstehen hochauflösende Eigenschaftsbilder mit vielen Tausend Messpunkten in wenigen Sekunden bzw. Minuten, welche eine Vielzahl von Informationen für die Schichtentwicklung und Qualitätssicherung enthalten.
Vorteile
- Berührungslose live Messung
- Hochauflösende Messung mit 1 mm Messpunktabstand (0.25 bis 10 mm Pitch bestellbar)
- Messung ist unabhängig von Kontaktqualität im vgl. zu kontaktierenden Verfahren
- Hochauflösende Mappings von leitfähigen Dünnschichten zeigen Material und Prozess-Inhomogenitäten
- Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
- Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Histogramm, Standardabweichung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
- Laden, Speichern und Exportieren von Mess- und Mappingdaten
- Nutzerfreundliche PDF Reportingfunktion für systematische Dokumentationen
Anwendungen
- Berührungslose Schichtwiderstandsabbildung von Dünnschichten
- Prüfung von Metallschichtdicken und der Schichthomogenität
- Defektoskopie und Schichtanalyse
- Messung und Mapping der Schichtdicke metallischer Schichten
- Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
Spezifikationen
- Messbereich: 0,001 – 1.000 Ohm/sq
- Substratgrößen: 50 x 50 mm² bis 500 x 500 mm²
Prozesse
- Abscheidung (Sputtern, Verdampfen, ALD, CVD, Galvanik, Drucken, Gießen etc.)
- Abtragen (Ätzen, Polieren, Lasern etc.)
- Dotierung
- Tempern
Varianten
- Schichtwiderstand R_sq in [Ohm/sq]
- Schichtdicke metallischer Schichten [nm, µm]
- Anisotropie-Mapper
Einsatzgebiete
- F&E und QS von leitfähigen Schichten und Schichtsysteme
- Metallische Schichten und Metallfolien
- Photovoltaik (Si und Dünnschicht PV)
- Wafer Metallisierungen
- Smart-Glas Anwendungen / elektrochromes Glas / Dynamisches Glas / intelligentes Glas
- Architekturglas (LowE)
- Spiegelschichten
- Reflexionsschichten
- Elektroden in Energiespeicher
- Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
- Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
- Kondensatorfolien
- Batterieelektroden
- Displays, Touchscreens
- OLED & LED-Anwendungen
Materialien und Schichten
- Leitfähige Oxidschichten TCO (ITO, AZO, FTO etc.)
- Dünne Metallschichten (5nm bis 2 mm je nach Leitfähigkeit)
- Dotierte Halbleiter (z.B. Silizium)
- Metall Gitterstrukturen (Metal Meshes) und Metalldraht Strukturen (Ag-NW)
- Graphene, Graphite und Carbon Nano Tubes (CNT)
- Leitfähige Tinten und Lacke
- Andere leitfähige Dünnschichten
Software und Gerätesteuerung
- Sehr benutzerfreundliche Software
- Einfach zu bedienende statistische Analysemöglichkeiten
- Verschiedene Datenanalyse, Datensicherung und Export-Optionen
Weitere Produkte in diesem Bereich