Barriereschichten

Die Verpackungsindustrie zeichnet sich durch hohe Durchsätze und somit Anforderungen an die zu erfüllenden Eigenschaften aus. Zur Gewährleistung höchster Standards im R2R-Prozess sollten folgende Abscheideprozesse charakterisiert werden, beispielsweise für:

• Einzelschicht-Syteme
• Multischicht-Systeme
• Al2O3
• SixOy
• SiO2
• Si3N4

Messaufgaben

• Schichtwiderstand
• Leitfähigkeit
• Dicke
• Homogenität

Substrate

• Kunststoffe
• Metalle
• Folie

Prozesse

• R2R
• S2S

Anwendungen

• Nahrungsmittel
• Pharmazie
• Industrie
• Organische Photovoltaik
• OLED
• E-paper

Für die Charaktisierung von Hochvolumenprozessen stellt SURAGUS folgende Lösungen vor: