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Berührungsfreies Messsystem zur Abbildung des Schichtwiderstands, der Metallschichtdicke, des Widerstands, der elektrischen Anisotropie und Leitfähigkeit, Permebilität und Permittivität
EddyCus® TF map 2530 Serie
Die EddyCus® TF map 2530 Serie misst automatisch und berührungslos den Schichtwiderstand von Proben mit einer Größe bis zu 300 x 300 mm² (12 x 12 Zoll). Nach der manuellen Deponierung der Probe im Gerät, bewegt sich die Probe automatisch unter den Messkopf entlang und nimmt die Messwerte auf. Daraus entsteht eine sehr genaue Abbildung des Schichtwiderstands über die gesamte Probenfläche, welche im Anschluss der Messung in der Software angezeigt wird. Die Messeinstellungen erlauben eine einfache und flexible Wahl zwischen einer kurzen Messdauer von unter 1 Minute oder einer hohen räumlichen Messauflösung von mehr als 100.000 Messpunkten.
Highlights
- Berührungsfrei
- Schnelle und präzise Messungen
- Hochauflösende Bildgebung von leitfähigen Dünnschichten
- Bildgebung von Substraten bis zu 300 x 300 mm (12 x 12 inches)
- Charakterisierung selbst von verdeckten und verkapselten leitfähigen Schichten möglich
- Verschiedene Analysefunktionen innerhalb der beiliegenden Software (z.B. Schichtwiderstandsverteilung, Linienprofile, Einzelpunktanalyse)
- Funktion zum Messdaten speichern und exportieren
- Defekterkennung und Beschichtungsanalyse
Varianten
Die Geräteplattform ist in verschiedenen Sensorausführungen verfügbar. Dazu zählen Wirbelstromsensoren für die elektrische Charakterisierung und Sensoren für die Charakterisierung optischer Parameter. Zur Auswahl der Messgerätekonfigurationen stehen folgende Varianten:
- Schichtwiderstand – EddyCus® TF map 2530SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
PDF (1,5 MB)
- Metallschichtdicke – EddyCus® TF map 2530MT [nm, µm, mm, mil]
PDF (1,5 MB)
- Widerstand und Leitfähigkeit – EddyCus® TF map 2530RM [mOhm*cm, MS/m]
PDF (639,4 KB)
- Anisotropie – EddyCus® TF map 2530A (MD/TD)
PDF (780,3 KB)
- Nassbeschichtungsdicke und Restfeuchte – EddyCus® TF map 2530HF
PDF (710,2 KB)
Charakteristiken
- Technologie: Berührungsloser Wirbelstrom
- Bildgebung durch die Aufnahme tausender einzelner Messpunkte
- Probengröße: 300 x 300 mm
- Empfohlene Probengröße: 1 inch bis 12 inch bzw. 25 bis 300 mm
Software und Gerätesteuerung
- Sehr nutzerfreundliche Software
- Echtzeit Messungen
- Einfach zu verwendende statistische Analyseoptionen
- Verschiedene Datenanalyse-, Datenspeicherungs- und Exportoptionen
Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter
EddyCus® TF map 2530SR – Berührungsfreies bildgebendes Schichtwiderstandsmessgerät
Das EddyCus® TF map 2530SR ist ein berührungsloses System zur Kartierung des Schichtwiderstandes. Das Gerät ist mit einem beweglichen Probenaufnahmetisch ausgestattet. Der Wirbelstromsensor kann dadurch den Schichtwiderstand an bis zu 90.000 (300 mm x 300 mm bei 1 mm Messpunktabstand) Messpunkten pro Scan messen. Da diese Technologie keinen physischen Kontakt zur Probe erfordert, führt das Gerät Messungen im laufenden Betrieb durch. Zusätzlich zeichnet es sich durch eine hohe Genauigkeit aus, da es keinen negativen Einfluss durch die Kontaktqualität auf die Messung gibt. Die hohe Dichte der Messpunkte verteilt über die gesamte Probe stellt sicher, dass keine Effekte oder Defekte übersehen werden. Darüber hinaus unterstützen die umfangreichen Analysefunktionen eine systematische Qualitätssicherung verschiedenster Dünnschichten in Fertigungs- und F&E-Laboren.
Beispiel eines Scanergebnisses
Datenblatt für den EddyCus® TF map 2530SR
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Wafer, glass, foils etc. |
| Max. scanning area | 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request) |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample) |
| Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper) | 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ()) |
| Scanning pitch | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 100 measurement points in 0.5 minutes 10,000 measurement points in 3 minutes |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 799 x 486 x 850 mm |
| Weight | 90 kg |
| Further available features | Metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor |
| VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
|---|---|---|---|---|---|
| 6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | |||||
| Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2,000 | 1,000 – 200,000 |
| Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
| Repeatability (2σ) | < 0.5% | < 1% | < 0.5% | ||
| VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance | |||||
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Bilder des EddyCus® TF map 2530SR
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Produktübersicht weiterer Schichtwiderstandmessgeräte
EddyCus® TF map 2530MT – Berührungsfreies bildgebendes Metallschichtdickenmessgerät
Der EddyCus® TF map 2530MT ist ein berührungsloses Dickenmesssystem, das unabhängig von optischen Eigenschaften arbeitet. Das Gerät nutzt einen berührungsfreien Wirbelstromsensor, um die Dicke eines beliebigen Materials mit bekannter Leitfähigkeit oder charakteristischem Leitfähigkeitsprofil, wie bei Metallen oder Legierungen, zu bestimmen. Diese berührungsfreie Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung für einen großen Bereich unterschiedlicher Dicken, der bei wenigen Nanometern beginnt und bis in den Millimeterbereich reicht. Zusätzlich kann sie auch auf Folien angewendet werden, die von nichtleitenden Materialien ummantelt sind. Das Messverfahren ist sehr robust und zeichnet sich durch eine hohe Reproduzierbarkeit und hohe Genauigkeit aus. Die Unabhängigkeit von den optischen Eigenschaften ist vorteilhaft für verschiedene Branchen, die nicht-transparente Metallbeschichtungen abscheiden. Dieses kompakte Tischgerät wird für einen breiten Anwendungsbereich für schnelle Tests oder systematische Qualitätssicherung in Fertigungs-, F&E- und Prüflaboren eingesetzt.
Beispiel eines Scanergebnisses
Datenblatt des EddyCus® TF map 2530MT
| Schichtwiderstandsmesstechnologie | Non-contact eddy current sensor |
| Substrate | Wafer, glass, foil, etc. |
| Probenauflage | 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request) |
| Korrektur des Kanteneffekts | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. Probendicke / Sensorenabstand | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Dickenmessung von Metallschichten (z.B. Kupfer) Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver) |
Low 1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy Standard 10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy High 1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy |
| Metalldickenkalibrierung | Direct thickness calibration / sheet resistance conversion |
| Schichtwiderstandsmessbereich | 0.1 mOhm/sq – 100,000 Ohm/sq (in 5 ranges) |
| Scan-Punktabstand | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm |
| Messpunkte pro Zeit (quadratische Form) | 10,000 measurement points in 5 minutes 1,000,000 measurement points in 30 minutes |
| Scandauer | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 15 minutes (2.5 – 25 mm pitch) |
| Geräteabmessungen (B/H/T) / Gewicht | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 799 mm x 486 mm x 850 mm / 90 kg |
| Weitere verfügbare Funktionen | Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / anisotropy / permeability (beta) |
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Produktübersicht weiterer Metallschichtdicken-Messsysteme
EddyCus® TF map 2530RM – Abbildung des Widerstands und der Leitfähigkeit sowie Defekterkennung von Dünnschichten
Eine Vielzahl von Materialeigenschaften bestimmt die Leitfähigkeit eines Werkstoffes. Neben der Zusammenstellung hat auch die Struktur und die Reinheit eines Werkstoffs einen Einfluss auf die Leitfähigkeit. Der EddyCus® TF map 2530RM ist ein Wirbelstrombasiertes bildgebendes Messsystem. Es wurde entwickelt um hochauflösende Flächenscans der Leitfähigkeit und korrelierender Materialeigenschaften zu erstellen. Dadurch können Effekte und Defekte des Materials schnell und präzise entdeckt werden. Das Messsystem kann mit verschiedenen EddyCus®-Sensoren ausgestattet werden. Das erlaubt es die Leitfähigkeitscans mit einer hohen Auflösung oder mit einer hohen Eindringtiefe und Defekterkennung zu erstellen. Das Messgerät unterstützt die Erstellung von Flächenscans (Eddy Current C-Scans) der Oberfläche mit einem Messpunktabstand von 100 µm bis zu 10 mm. Das Drei-Achs-System ermöglicht Scans in 2D und 2,5D mit einer maximalen Probengröße von 300 mm x 300 mm (12 inch x 12 inch). Typische Anwendungen betreffen die Oberflächencharakterisierung von leitfähigen Materialien wie SiC-, Graphite-, Metall-, Legierungen- und Stahlplatten oder andere leitfähige Halbzeuge. Des Weiteren kann das Messsystem für die Bestimmung der elektrischen Integrität von gedruckten Elektroniken und Schichten verwendet werden.
Die Wirbelstromprüfung ermöglicht die Quantifizierung der Materialleitfähigkeit [IACS oder MS/m] oder des spezifischen Widerstandes [Ohm m oder Ohm mm² / m]. Die Leitfähigkeit von Materialien gibt Auskunft über Materialeigenschaften wie Materialart und Homogenität der Materialzusammensetzung. Neben der direkten Information über elektrische Eigenschaften enthält die Leitfähigkeit auch Informationen, die sich auf die thermischen und mechanischen Eigenschaften sowie die strukturelle Integrität beziehen.
Spezifikation
- Messbereich: 0.01 – 65 MS/m (0.1 – 110 % IACS)
- Probengröße: 5 x 5 mm bis 300 x 300 mm
- Probenform: flache und gewölbte Oberflächen
- Austauschbare Sensoren für spezifische Messaufgaben
- Kundenspezifischer Probenhalter in Bezug auf Layout und Form zugeschnitten auf die Probenabmessungen
- Datenanalyse-, Export- und Reportfunktion
Die Leitfähigkeitsbestimmung und -darstellung gibt Aufschluss über:
- Materialtyp und -reinheit
- Bewertung der Materialzusammensetzung und deren Veränderung über die Fläche
- Verunreinigungen/ Dotierung
- Abweichungen im Gefüge und strukturelle Integrität
- Erstarrungsverhalten von Gusswerkstoffen
- Von der Leitfähigkeit beeinflusste Materialeigenschaften wie Härte, Spannung, Korngrenzen und andere Eigenschaften
Beispiel eines Scanergebnisses
Datenblatt des EddyCus® TF map 2530RM
| Measurement technology | High frequency eddy current sensor |
| Substrates | Flat, slightly curved |
| Max. scanning area | 12 inch / 300 mm x 300 mm x 10 mm |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 10 mm |
| Resistivity range | 0.002 – 0.1 mOhm cm 0.1 – 100 mOhm cm 100 – 1,000 mOhm cm |
| Conductivity range | 0.01 – 65 MS/m |
| Min. pitch | 0.1 mm |
| Mode | Contact and non-contact |
| Speed | 400 mm per second (time 1 to 30 minutes) |
| Device dimensions (w/h/d) | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 799 mm x 486 mm x 850 mm |
| Weight | 90 kg |
| Further available features | Sheet resistance imaging, metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor |
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Bilder des EddyCus® TF map 2530RM
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EddyCus® TF map 2530A – Berührungsfreies bildgebendes Messsystem zur Darstellung der elektrischen Anisotropie und des Schichtwiderstands
Der EddyCus® TF map 2530A (Anisotropie) ist ein einzigartiges bildgebendes Messsystem zur Darstellung der elektrischen Anisotropie. Es liefert räumlich aufgelöste Anisotropie-Scans, um ein tieferes Verständnis der dominierenden Richtung von Leitungsstrukturen zu erlangen. Das Messsystem verwendet Wirbelstromsensoren, die Ströme in eine bestimmte Richtungen induzieren. Das resultierende Bild zeigt die dominierende Richtung des Stromflusses, die Anisotropiestärke und den resultierenden Schichtwiderstand. Dieses einzigartige Werkzeug ist nützlich für die Charakterisierung von Drahtstrukturen wie Silber-Nanodrähten (Ag-NW), CNTs, Metallgittern oder Nanostabstrukturen. Bewusst anisotrop angeordnete Nanodrähte bieten im Vergleich zu isotropen Nanodrahtelektroden mit entgegengesetzter Kontaktstruktur eine bessere Kombination aus Schichtwiderstand und optischer Transparenz. Diese zerstörungsfreie Prüfmethode spart Zeit und stellt sicher, dass der Depositionprozess die erforderliche Richtung und den erforderlichen Widerstand erreicht. Dieses Werkzeug kann für schnellen Qualitätschecks oder zur systematischen Qualitätssicherung eingesetzt werden.
Begriffe und Konzept
- "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
- Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen
Elektrische Anisotropie…
- …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
- …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern
Beispiel eines Scanergebnisses
Datenblatt des EddyCus® TF map 2530A
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor with directed current induction |
| Substrates | Foils, glass, wafer, etc. |
| Max. scanning area | 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application) |
| Sheet resistance range | 0.01 – 1,000 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy |
| Anisotropy range (TD/MD) | 0.33 – 3 (larger upon request) |
| Scanning pitch | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 10,000 measurement points in 5 minutes 1,000,000 measurement points in 30 minutes |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 15 minutes (2.5 – 25 mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 799 mm x 486 mm x 850 mm |
| Weight | 90 kg |
| Further available features | Metal thickness, sheet resistance, resistivity imaging |
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Bilder des EddyCus® TF lab 2530A
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Produktübersicht weiterer elektrische Anisotropie- und Schichtwiderstands-Messsysteme
EddyCus® TF map 2530HF – Nassbeschichtungsdicke- und Restfeuchtemessung
Der EddyCus® TF map 2530HF ist ein bildgebendes Hochfrequenz-Wirbelstrom-Gerät, das für die Material- und Dünnschichtcharakterisierung entwickelt wurde. Das Gerät ist empfindlich für Merkmale, die mit elektrischen, dielektrischen und magnetischen Eigenschaften korrelieren. Typische Anwendungen sind die Beurteilung der Materialzusammensetzung, die Messung von Restfeuchte, Nassschichtdicke oder Permittivität sowie die Bestimmung des Gehalts an leitfähigen (z.B. C, Pt) oder magnetischen (z.B. Co) Materialien. SURAGUS unterstützt auch komplexe Impedanzanalysen, um mit einer einzigen Messung Informationen über elektrische, dielektrische oder magnetische Eigenschaften von Hybridmaterialien abzuleiten. Die genauen Möglichkeiten bezüglich spezifischer Messaufgaben ergeben sich aus einer Rücksprache mit dem SURAGUS-Team.
Beispiel eines Scanergebnisses
Datenblatt des EddyCus® TF map 2530HF
| Measurement technology | Non-contact high frequency eddy current sensor |
| Substrates | Foils, glass, various containers |
| Max. scanning area | 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request) |
| Edge effect correction / exclusion | 5 % edge exclusion for standard sizes |
| Max. sample thickness / sensor gap | Transmission setup: 3 – 50 mm (defined by the thickest sample) Reflection setups: infinitive (only surface area is analyzed) |
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Measurement types |
Wet thickness (µm) / weight (g/m²) / drying status (%) / conductivity (MS/m) / resistivity (mOhm cm) / permeabilty (H/m) Beta |
| Measurement range / accuracy | Depends on the measurement task and the material composition and test object volume. Please consult the SURAGUS team |
| Scanning pitch | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 100 measurement points in 0.5 minutes 10,000 measurement points in 5 minutes 1,000,000 measurement points in 30 minutes |
| Device dimensions (w/h/d) | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 799 mm x 486 mm x 850 mm |
| Weight | 90 kg |
| Further available measurements | Sheet resistance, metal thickness and anisotropy imaging |
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Bilder des EddyCus® TF map 2530HF
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