Berührungsloses Schichtwiderstand, Metallschichtdicke, elektrische Anisotropie, Widerstand oder Leitfähigkeit-Messgerät für Einzelpunktmessungen
EddyCus® TF lab 2020

Der EddyCus TF lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung
  • Präzise Messung von leitfähigen Dünnschichten
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
  • Speicherung und Export von Messdaten und Messreihen

Varianten

Eigenschaften

  • Schichtwiderstand
  • Schichtdicke metallischer Schichten
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 200 x 200 mm² (0,5 – 8 inch Wafer)
  • Messbereich: 0,0001 – 100.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien

ANGEBOT ANFORDERN

 

Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter

Schichtwiderstand

Metallschichtdicke

Elektrische Anisotropie

Nassbeschichtungsdicke und Restfeuchte

Widerstand Leitfähigkeit

EddyCus® TF lab 2020SR – Berührungsfreies Schichtichtwiderstand-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 2020SR ist ein berührungsloses Einzelpunkt-Schichtwiderstand-Messsystem. Das Gerät enthält ein Wirbelstrom-Sensorpaar, das schwache Ströme in leitende Schichten und Materialien induziert. Die in die Probe induzierten Ströme erzeugen ein elektromagnetisches Feld, das mit dem Schichtwiderstand des Messobjekts korreliert. Die Technologie ist unabhängig von Oberflächeneigenschaften oder -morphologie. Außerdem erfordert sie keinen besonderen Probenkontakt oder Probenvorbereitung, wie es von der 2- oder 4-Punkt-Methode (2PP, 4PP) sowie der Hall-Effekt- oder Van-der-Pauw-Methode bekannt ist. Es wird weder der Aufbau von Teststrukturen benötigt noch wird sie durch die Oberflächenrauheit oder nicht leitende Verkapselungen sowie Passivierungsschichten beeinflusst. Zusätzlich wird die getestete Dünnschicht durch die Messung physisch nicht beeinflusst. Wirbelstrominstrumente haben eine lange Lebensdauer, da es zu keinem mechanischen Verschleiß kommt. Durch die Unabhängigkeit von der Kontaktqualität und die hohe Geschwindigkeit, werden hohe Wiederholgenauigkeiten und Genauigkeiten ermöglicht, die für die systematische Qualitätssicherung verschiedener Dünnschichten in F&E- und Prüflaboren von Vorteil sind. Die EddyCus-Geräte können durch die SURAGUS-Software mit verschiedenen Datenaufzeichnungs- und Exportfunktionen oder durch eine eigene Kundensoftware basierend auf dem SURAGUS-Software-Development-Kit gesteuert werden.

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings

Datenblatt des EddyCus® TF lab 2020SR

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Flexible and solid substrates e.g. foils, glass, plastics, wafer, panels, plates
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open to three sides)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.0001 – 10 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy
0.1 – 1,000 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy
10 – 100,000 Ohm/sq; 2 to 8 % accuracy
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))
Device dimension (w/h/d) 11.4 x 5.5 x 17.5 inch / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Available features Metal thickness measurement
Sheet resistance anisotropy sensor

 

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  • Anfragen bezüglich einer Demo-Messung
  • Anfragen bezüglich einer Online oder Live-Demonstration
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Bilder des EddyCus® TF lab 2020SR

Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR front
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020 with monitor
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with foil
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a glass
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a wafer
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with wafer and software

Produktübersicht weiterer Schichtwiderstand-Messsysteme

EddyCus® TF lab 2020MT – Berührungsfreies Einzelpunkt Metallschichtdicke-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 2020MT ermöglicht die berührungslose Metalldickenmessung von transparenten und nicht-transparenten Schichten. Die Messung erfolgt mittels berührungsloser Wirbelstromsensoren. Sie bestimmen in Echtzeit die Metalldicke von Materialien mit bekannter oder (eher) konstanter Leitfähigkeit. Diese berührungslose Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung in einem großen Dickenmessbereich, beginnend bei einer Dicke von wenigen Nanometern bis hin zur Charakterisierung von dicken Metallschichten und Platten. Die Technologie ist auch in der Lage, Metallschichten zu charakterisieren, die von nicht leitenden Materialien verdeckt sind. SURAGUS bietet materialspezifische Setups für sehr dünne Schichten und auch sehr dicke Metalle sowie gängige Legierungen. Das Wirbelstrom-Messverfahren ist äußerst robust und zeichnet sich durch eine hohe Wiederholgenauigkeit und hohe Präzision aus. Zudem benötigt es weder optische Transparenz noch einen physikalischen Kontakt. Daher kann es in sehr vielen Anwendungsbereichen wie schnelle Tests oder systematische Qualitätssicherung angewendet werden.

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings 

Datenblatt des EddyCus® TF lab 2020MT

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open to three sides)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Metal thickness range 1 – 20 nm; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability (specific SURAGUS thickness models may apply)
0.02 – 200 µm; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
200 – 2000 µm; 2 % accuracy & 1 % repeatability
Sheet resistance of thin films (ITO) 0.1 mOhm/sq to 100 kOhm/sq
Device dimension (w/h/d) 11.4 x 5.5 x 17.5 inch / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Available features Sheet resistance measurement
Electrical anisotropy sensor

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 2020MT

Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR front
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020 with monitor
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with foil
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a glass
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a wafer
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with wafer and software

Produktübersicht weiterer Metallschichtdicke-Messgeräte

EddyCus® TF lab 2020A – Berührungsfreies elektrische Anisotropie und Schichtwiderstand-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 2020A (Anisotropie) ist für die Messung der elektrischen Anisotropie und der Richtung der Schichtwiderstände bestimmt. Dies ist besonders relevant für funktionale Dünnschichten, die hauptsächlich in einer bestimmten Richtung leitfähig sein müssen, während gleichzeitig höchste optische Transparenzen erreicht werden sollen. Dieses neuartige Gerät ist mit integrierten Sensoren für die Anisotropie der Schichtwiderstände ausgestattet. Diese Sensoren induzieren gerichtete Ströme in Maschinen- und Traversenrichtung. Die gemessenen gerichteten Schichtwiderstände werden zur präzisen Messung der elektrischen Anisotropie verwendet. Diese berührungslose Prüfmethode liefert Ergebnisse in Echtzeit und zeitaufwändige zerstörende Prüfungen können vermieden werden. Es wird für schnelle Prüfungen und systematische Qualitätssicherung in den verschiedensten Branchen eingesetzt.  

Begriffe und Konzept

  • "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
  • Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen

Elektrische Anisotropie…

  • …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
  • …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern

 

Informationen

  • Schichtwiderstand (Ohm/sq)
    • Maschinenrichtung MD (Ohm/sq)
    • Traversierrichtung TD (Ohm/sq)
  • Kombinierter Schichtwiderstand (Ohm/sq)
  • Anisotropie
    • Verhältnis TD/MD
    • Anisotropie (%)

Typische Materialien

  • Nano-drähte (Ag, Pt, Au etc.)
  • Metallgewebe und -gitter (Cu, Au, etc.)
  • Karbon Nano Röhren
  • Nanostäbe

Anisotropie Beschreibung

aniso ratio.jpg
aniso percent.jpg

 

 

 

 

Electrical Anisotropy.PNG
Electrical Anisotropy2.PNG

Datenblatt des EddyCus® TF lab 2020A

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer, etc.
≥ 25 mm x 25 mm
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open to three sides)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 3,000 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
Anisotropy ratio 0.33 – 3
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance)
Device dimension (w/h/d) 11.4 x 5.5 x 17.5 inch / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Available features Metal thickness measurement

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 2020A

Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR front
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020 with monitor
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with foil
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a glass
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a wafer
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with wafer and software

Produktübersicht weiterer elektrische Anisotropie und Schichtwiderstand-Messgeräte

 

EddyCus® TF lab 2020HF – Messgerät für permittivitäts-, leitfähigkeits- und permeabilitätsbezogene Messaufgaben

The EddyCus® TF map 2020HF is a high frequency eddy current single point measurement device designed for material and thin-film characterization. The device is sensitive to characteristics that correlate with electric, dielectric and magnetic properties. Typical applications include the assessment of material composition, the measurement of residual moisture, wet coating thickness or permittivity, and the determination of the content level of conductive (e.g. C, Pt) or magnetic (e.g. Co) materials. SURAGUS also supports complex impedance analysis to derive information on electrical, dielectric or magnetic properties from hybrid materials with a single measurement. The exact capabilities regarding specific measurement tasks can be provided from a consultation with the SURAGUS team.

 

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Datenblatt des EddyCus® TF lab 2020HF

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer, etc.
≥ 25 mm x 25 mm
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open to three sides)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 3,000 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
Anisotropy ratio 0.33 – 3
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance)
Device dimension (w/h/d) 11.4 x 5.5 x 17.5 inch / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Available features Metal thickness measurement

 

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  • Anfragen bezüglich einer Online oder Live-Demonstration
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Bilder des EddyCus® TF lab 2020HF

Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR front
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR isometric view
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020 with monitor
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with foil
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a glass
Single point thin film sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with a wafer
Sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 2020SR with wafer and software

Produktübersicht weiterer Permittivität, Leitfähigkeit und Permebilität-bezogene Messgeräte

EddyCus® TF lab 2020RM – Mehrzweck Einzelpunkt Widerstand-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 2020RM ist ein einzigartiges industrielles Wirbelstrommessgerät mit Frequenzen von 10 kHz bis 100 MHz zur Charakterisierung von flachen Proben. Die Veränderbarkeit der Messfrequenz ermöglicht die Steuerung der Eindringtiefe. Die Messung mit hohen Frequenzen kommt der Charakterisierung von oberflächennahen Materialeigenschaften des Grundmaterials und von dünnen Schichten zugute. Zusätzlich steigt die Empfindlichkeit mit zunehmender Messfrequenz. Daher können auch sehr niedrig leitende Materialien und Schichten charakterisiert werden. Darüber hinaus unterstützt das Gerät die Erstellung von Tiefenprofilen durch die Nutzung von Mehrfrequenzmessungen. Die zugrunde liegenden Messparameter sind die Leitfähigkeit und verwandte Kenngrößen.

Mehr Informationen über den EddyCus® TF lab 2020RM

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