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Berührungsloses Schichtwiderstand, Metallschichtdicke, elektrische Anisotropie, Widerstand oder Leitfähigkeit-Messgerät für Einzelpunktmessungen
EddyCus® lab 2020
Der EddyCus® lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.
Vorteile
- Berührungslose Echtzeit-Messung
- Präzise Messung von leitfähigen Dünnschichten
- Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
- Speicherung und Export von Messdaten und Messreihen
Varianten
- Schichtwiderstandsmessgerät – EddyCus® lab 2020SR (Ohm/sq, OPS)
PDF (1,6 MB)
- Metallschichtdickenmessgerät – EddyCus® lab 2020MT (nm, µm, mil)
PDF (1,5 MB)
- Elektrische Anisotropie- und Schichtwiderstandsmessgerät – EddyCus® lab 2020A (MD/TD)
PDF (639,0 KB)
- Nassbeschichtungsdicke und Restfeuchtemessgerät – EddyCus® lab 2020HF
PDF (849,8 KB)
- Widerstands- und Leitfähigkeitsmessgerät – EddyCus® lab 2020RM
PDF (1,6 MB)
Eigenschaften
- Schichtwiderstand
- Schichtdicke metallischer Schichten
- Einzelpunktmessung
- Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
- Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 200 x 200 mm² (0,5 – 8 inch Wafer)
- Messbereich: 0,0001 – 100.000 Ohm/sq
Einsatzgebiete
- Architekturglas (LowE-Schichten)
- Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
- OLED & LED-Anwendungen
- Smart-glass Anwendungen
- Graphen-Schichten
- Photovoltaik-Wafer und Zellen
- Halbleiterwafer
- Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
- Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
- Batterieelektroden
- Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter
EddyCus® lab 2020SR – Berührungsfreies Schichtichtwiderstand-Messgerät
Der EddyCus® lab 2020SR ist ein berührungsloses Einzelpunkt-Schichtwiderstand-Messsystem. Das Gerät enthält ein Wirbelstrom-Sensorpaar, das schwache Ströme in leitende Schichten und Materialien induziert. Die in die Probe induzierten Ströme erzeugen ein elektromagnetisches Feld, das mit dem Schichtwiderstand des Messobjekts korreliert. Die Technologie ist unabhängig von Oberflächeneigenschaften oder -morphologie. Außerdem erfordert sie keinen besonderen Probenkontakt oder Probenvorbereitung, wie es von der 2- oder 4-Punkt-Methode (2PP, 4PP) sowie der Hall-Effekt- oder Van-der-Pauw-Methode bekannt ist. Es wird weder der Aufbau von Teststrukturen benötigt noch wird sie durch die Oberflächenrauheit oder nichtleitende Verkapselungen sowie Passivierungsschichten beeinflusst. Zusätzlich wird die getestete Dünnschicht durch die Messung physisch nicht beeinflusst. Wirbelstrominstrumente haben eine lange Lebensdauer, da es zu keinem mechanischen Verschleiß kommt. Durch die Unabhängigkeit von der Kontaktqualität und die hohe Geschwindigkeit, werden hohe Wiederholgenauigkeiten und Genauigkeiten ermöglicht, die für die systematische Qualitätssicherung verschiedener Dünnschichten in F&E- und Prüflaboren von Vorteil sind. Die EddyCus-Geräte können durch die SURAGUS-Software mit verschiedenen Datenaufzeichnungs- und Exportfunktionen oder durch eine eigene Kundensoftware basierend auf dem SURAGUS-Software-Development-Kit gesteuert werden.
Software und Bedienung
- Hohe Bedienungsfreundlichkeit
- Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
- Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
- Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
- Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings
Datenblatt des EddyCus® lab 2020SR
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Foils, glass, wafer, etc. |
| Substrate area | 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Thickness measurement range of metal films (e.g. copper) | 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ()) |
| Device dimensions (w/h/d) | 11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm |
| Weight | 10 kg |
| Further available features | Sheet resistance measurement / metal thickness monitor |
| VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
|---|---|---|---|---|---|
| 6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | |||||
| Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2000 | 1,000 – 200,000 |
| Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
| Repeatability (2σ) | < 0.3% | < 0.5% | < 0.3% | ||
| VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance | |||||
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Produktübersicht weiterer Schichtwiderstand-Messsysteme
EddyCus® lab 2020MT – Berührungsfreies Einzelpunkt Metallschichtdicke-Messgerät
Der EddyCus® lab 2020MT ermöglicht die berührungslose Metalldickenmessung von transparenten und nicht-transparenten Schichten. Die Messung erfolgt mittels berührungsloser Wirbelstromsensoren. Sie bestimmen in Echtzeit die Metalldicke von Materialien mit bekannter oder (eher) konstanter Leitfähigkeit. Diese berührungslose Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung in einem großen Dickenmessbereich, beginnend bei einer Dicke von wenigen Nanometern bis hin zur Charakterisierung von dicken Metallschichten und Platten. Die Technologie ist auch in der Lage, Metallschichten zu charakterisieren, die von nichtleitenden Materialien verdeckt sind. SURAGUS bietet materialspezifische Setups für sehr dünne Schichten und auch sehr dicke Metalle sowie gängige Legierungen. Das Wirbelstrom-Messverfahren ist äußerst robust und zeichnet sich durch eine hohe Wiederholgenauigkeit und hohe Präzision aus. Zudem benötigt es weder optische Transparenz noch einen physikalischen Kontakt. Daher kann es in sehr vielen Anwendungsbereichen wie schnelle Tests oder systematische Qualitätssicherung angewendet werden.
Software und Bedienung
- Hohe Bedienungsfreundlichkeit
- Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
- Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
- Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktion
- Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings
Datenblatt des EddyCus® lab 2020MT
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Foil, glass, wafer, etc. |
| Substrate area | 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides) |
| Max. sample thickness/ sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Metal thickness range Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver) |
Low 1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy Standard 10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy High 1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy |
| Metal thickness calibration | Direct thickness calibration / sheet resistance conversion |
| Device dimensions (w/h/d) | 11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm |
| Weight | 10 kg |
| Further available features / other tool configurations | Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / electrical anisotropy / permeability (beta) |
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Produktübersicht weiterer Metallschichtdicke-Messgeräte
EddyCus® lab 2020A – Berührungsfreies elektrische Anisotropie und Schichtwiderstand-Messgerät
Der EddyCus® lab 2020A (Anisotropie) ist für die Messung der elektrischen Anisotropie und der Richtung der Schichtwiderstände bestimmt. Dies ist besonders relevant für funktionale Dünnschichten, die hauptsächlich in einer bestimmten Richtung leitfähig sein müssen, während gleichzeitig höchste optische Transparenzen erreicht werden sollen. Dieses neuartige Gerät ist mit integrierten Sensoren für die Anisotropie der Schichtwiderstände ausgestattet. Diese Sensoren induzieren gerichtete Ströme in Maschinen- und Traversenrichtung. Die gemessenen gerichteten Schichtwiderstände werden zur präzisen Messung der elektrischen Anisotropie verwendet. Diese berührungslose Prüfmethode liefert Ergebnisse in Echtzeit und zeitaufwändige zerstörende Prüfungen können vermieden werden. Es wird für schnelle Prüfungen und systematische Qualitätssicherung in den verschiedensten Branchen eingesetzt.
Begriffe und Konzept
- "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
- Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen
Elektrische Anisotropie…
- …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
- …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern
Informationen
- Schichtwiderstand (Ohm/sq)
- Maschinenrichtung MD (Ohm/sq)
- Traversierrichtung TD (Ohm/sq)
- Kombinierter Schichtwiderstand (Ohm/sq)
- Anisotropie
- Verhältnis TD/MD
- Anisotropie (%)
Typische Materialien
- Nano-drähte (Ag, Pt, Au etc.)
- Metallgewebe und -gitter (Cu, Au, etc.)
- Karbon Nano Röhren
- Nanostäbe
Anisotropie Beschreibung
Datenblatt des EddyCus® lab 2020A
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor with directed current induction |
| Substrates | Foils, glass, wafer, etc. |
| Substrate area | 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
| Sheet resistance range | 0.01 – 1,000 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy |
| Anisotropy range (TD/MD) | 0.33 – 3 (larger upon request) |
| Device dimensions (w/h/d) | 11.4“ x 5.5” x 17.5“ / 290 mm x 140 mm x 445 mm |
| Weight | 10 kg |
| Further available features | Metal thickness, sheet resistance, emissivity, resistivity, weight and drying status and also permeability (beta) measurement |
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Produktübersicht weiterer elektrische Anisotropie und Schichtwiderstand-Messgeräte
EddyCus® lab 2020HF – Messgerät für permittivitäts-, leitfähigkeits- und permeabilitätsbezogene Messaufgaben
Das EddyCus® lab 2020HF ist ein Hochfrequenz-Wirbelstrom-Einzelpunktmessgerät, das für die Material- und Dünnschichtcharakterisierung entwickelt wurde. Das Gerät ist sensitiv für Merkmale, die mit elektrischen, dielektrischen und magnetischen Eigenschaften korrelieren. Typische Anwendungen sind die Beurteilung der Materialzusammensetzung, die Messung der Restfeuchte, der Nassschichtdicke oder der Permittivität sowie die Bestimmung des Gehaltes an leitfähigen (z.B. C, Pt) oder magnetischen (z.B. Co) Materialien. SURAGUS unterstützt auch komplexe Impedanzanalysen, um mit einer einzigen Messung Informationen über elektrische, dielektrische oder magnetische Eigenschaften von Hybridmaterialien abzuleiten. Die genauen Möglichkeiten bezüglich spezifischer Messaufgaben ergeben sich aus einer Rücksprache mit dem SURAGUS-Team.
Software und Bedienung
- Hohe Bedienungsfreundlichkeit
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Datenblatt des EddyCus® lab 2020HF
| Measurement technology | Non-contact high frequency eddy current sensor |
| Substrates | Foils, glass, various containers |
| Substrate area | 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides) |
| Max. sample thickness/ sensor gap | Transmission setup: 3 – 50 mm (defined by the thickest sample) Reflection setups: infinite (only surface area is analyzed) |
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Measurement types |
Wet thickness (µm) / weight (g/m²) / drying status (%) Conductivity / resistivity (mOhm cm) / permeability (H/m) Beta Permittivity (F/m) Beta |
| Measurement range / accuracy | Depends on the measurement task, the material composition and the test object volume. Please consult the SURAGUS team |
| Device dimensions (w/h/d) | 11.4“ x 5.5” x 17.5“ / 290 mm x 140 mm x 445 mm |
| Weight | 10 kg |
| Further available measurements | Sheet resistance, metal thickness, anisotropy |
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Produktübersicht weiterer Permittivität, Leitfähigkeit und Permebilität-bezogene Messgeräte
EddyCus® lab 2020RM – Mehrzweck Einzelpunkt Widerstand-Messgerät
Der EddyCus® lab 2020RM ist ein einzigartiges industrielles Wirbelstrommessgerät mit Frequenzen von 10 kHz bis 100 MHz zur Charakterisierung von flachen Proben. Die Veränderbarkeit der Messfrequenz ermöglicht die Steuerung der Eindringtiefe. Die Messung mit hohen Frequenzen kommt der Charakterisierung von oberflächennahen Materialeigenschaften des Grundmaterials und von dünnen Schichten zugute. Zusätzlich steigt die Empfindlichkeit mit zunehmender Messfrequenz. Daher können auch sehr niedrig leitende Materialien und Schichten charakterisiert werden. Darüber hinaus unterstützt das Gerät die Erstellung von Tiefenprofilen durch die Nutzung von Mehrfrequenzmessungen. Die zugrunde liegenden Messparameter sind die Leitfähigkeit und verwandte Kenngrößen.
