Crystalline Photovoltaic

In der Großserienfertigung sind fie Herstellungskosten sind für Hocheffizienz-Zellen und -Module entscheidend. Um höchste Effizienz bei niedrigsten Herstellkosten zu erreichen, sollten die folgenden Prozesse überwacht werden:

•     Metal grid
•     Elektroden
•     Buffer- oder Seed layer
•     Tunneloxide
•     Passivierungsschicht

Messaufgaben

• Schichtwiderstand
• Leitfähigkeit
• Dicke
• Homogenität
• Defektoskopie

Einsatzgebiete

• Inspektionskontrolle
• Wafer-Prüfung
• Beschichtungen
• Qualitätskontrolle
• Prozesskontrolle

Substrate

• n-typ Silizum-Wafer
• p-typ Silizium-Wafer

Prozess

• Inline
• Carrier
• Kassette

Umgebung

• In-vacuo und ex-vacuo
• In-situ und ex-situ
• Inline und offline

Anwendungen

• Heterojunction (HJT/ HIT)
• PERC/ PERT
• TopCon
• Integrated Back Contact (IBC)
• Tandem
• Perovskit-HJT-Tandem

For incoming inspection and characterization of deposition processes in crystalline photovoltaics SURAGUS refers to the following products: