Wafer-Charakterisierung

In der Halbleiterindustrie werden Beschichtungs- und Nachbehandlungsprozesse zur Erzielung elektrischer, mechanischer, chemischer, optischer und weiterer Eigenschaften vorgenommen. Diese Prozesse sind Verdampfen, Sputtern, Atomic Layer Deposition, Nassprozesse, Platieren, Annealing und eine Vielzahl weiterer Hochtechnologie-Verfahren. Daraus resultierende Eigenschaften wie Schichtwiderstand, Leitfähigkeit, Permeabilität oder Defektoskopie werden durch die Hochfrequenz-Wirbelstromtechnologie charakterisiert.

Messaufgaben

Schichtwiderstand
Leitfähigkeit
Dicke
Homogenität
Permeabilität
Defektoskopie
Facetten-Detektion

Einsatzgebiete

Eingangskontrolle
Beschichtung
Annealing
Platieren
Nassprozesse
Bildgebung und Near Edge Monitoring
Prozesskontrolle
Qualitätskontrolle

Substrate

Silizium
Siliziumcarbid
Galliumnitird
Galliumarsenid
Saphir (Al2O3)

Prozess

Wafer-Level
Carrier
Batch-Systeme
Load-lock-Systeme
Cluster-Systeme
Inline

Umgebung

In-vacuo und ex-vacuo
In-situ und ex-situ
Inline und offline

Anwendungen

Industrieelekronik
Leistungselektronik
Integrierte Schaltkreise
MEMS
Microelectronik
Mikroprozessoren
LED
Sensoren
Optiken
5G

SEMI Standards

SEMI MF673 — Test Method for Measuring Resistivity of Semiconductor Wafers or Sheet Resistance of Semiconductor Films with a Noncontact Eddy-Current Gauge
SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI MF81 — Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers
SEMI MF84 — Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers with an In-Line Four-Point Probe
SEMI MF374 — Test Method for Sheet Resistance of Silicon Epitaxial, Diffused, Polysilicon, and Ion-Implanted Layers Using an In-Line Four-Point Probe with the Single-Configuration Procedure
SEMI MF1527 — Guide for Application of Certified Reference Materials and Reference Wafers for Calibration and Control of Instruments for Measuring Resistivity of Silicon

For characterization of wafer processes in semiconductor industry SURAGUS refers to the following product categories: