Berührungsloses Schichtwiderstand, Metallschichtdicken, Anisotropie, optische Transmission und Leitfähigkeits-Messgerät
EddyCus® TF lab 4040 Series

Der EddyCus® TF lab 4040 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands, insbesondere von großen Substraten. Das flexibel konfigurierbare Tischgerät erlaubt die präzise manuelle Messung von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das Spektrum der Anwendungen umfasst die Messung von dünnen leitfähigen Schichten, dotierten Wafern und leitfähigen Polymerschichten.

Vorteile

  • Berührungslose Messung in Echtzeit
  • Hohe Genauigkeit und sehr gute Widerholgenauigkeit
  • Präzise Schichtwiderstand-Messung von leitfähigen Dünnschichten auf großen Substraten
    • Konventionelle leitfähige Dünnschichten
    • Gitter und Drahtstrukturen
    • Mehrschichtsysteme
    • Verdeckte und gekapselte leitfähige Schichten
  • Schichtdickemessung von metallischen Schichten [nm]
  • Keine Beeinträchtigung von empfindlichen Schichte
  • Kein Verschleiß
  • Softwareunterstütztes manuelles Mapping
  • Software Development Kit Testautomatisierung mit Kundenprogrammen
  • Bestimmung von verdeckten leitfähigen Schichten
  • Charakterisierung von verkapselten Substraten
  • Export von Messergebnissen
  • Platzsparende Monitor-Integration (für Messung via Touchscreen und Datenauswertung)

Varianten

Eigenschaften

  • Technologie: Berührungsfreies Wirbelstromverfahren
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätssicherung
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 400 x 400 mm² (Messfeldgröße: 760 mm x 660 mm)
  • Messbereich: 0,0001 – 100.000 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien

ANGEBOT ANFORDERN

 

Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter

Schichtwiderstand

Metallschichtdicke

Optische Transmission

Elektrische Anisotropie

Nassbeschichtungsdicke und Restfeuchte

EddyCus® TF lab 4040SR – Berührungsfreies Schichtichtwiderstand-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 4040SR ist ein Einzelpunkt-Messsytem, dass den Schichtwiderstand auf Proben mit einer Größe bis zu 400 mm x 400 mm misst. Die Wirbelstromsensoren des Messsystems induzieren einen schwachen Ström in leitende Folien und Materialien. Durch die induzierten Ströme wird ein elektromagnetisches Feld erzeugt. Das Feld korreliert mit dem Schichtwiderstand des Messobjekts. Das Wirbelstromverfahren ist unabhängig von Oberflächenrauheit oder Oberflächenmorphologie. Desweiteren wird kein spezieller Probenkontakt oder Probenvorbereitung, wie es von der 2-, 4-Punkt-Methode (2PP, 4PP), der Hall-Effekt- oder Van-der-Pauw-Methode bekannt ist, benötigt. Die verwendete Messmethode benötigt weder den Aufbau von besonderen Teststrukturen noch wird sie durch die Oberflächenrauheit des Materials und auch nicht von nicht leitenden Verkapselungen und Passivierungsschichten beeinflusst. Weil es sich um ein kontaktfreies Prüfverfahren handelt, wird die getestete Dünnschicht durch die Messung physisch nicht beeinflusst. Wirbelstrominstrumente haben dadurch eine lange Lebensdauer, da kein mechanischer Verschleiß auftritt. Da kein Kontakt zur Probe herstellt werden muss ist eine hohe Geschwindigkeit, eine hohe Wiederholgenauigkeiten und Genauigkeiten möglich. Diese Eigenschaften sind für die systematische Qualitätssicherung verschiedener Dünnschichten in F&E- und Prüflaboren von Vorteil sind. Die EddyCus-Geräte können durch die SURAGUS-Software mit verschiedenen Datenaufzeichnungs- und Exportfunktionen oder durch eine eigene Kundensoftware basierend auf dem SURAGUS-Software-Development-Kit gesteuert werden.

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktionen
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings

Datenblatt des EddyCus® TF lab 4040SR

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Flexible and solid substrates e.g. foils, glass, plastics, wafer, panels, plates
Substrate area 29.5 x 25.6 inch / 750 mm x 650 mm
(for measurement of 16inch) / 400 mm x 400 mm samples)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.0001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 500 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
100 – 1,000 Ohm/sq; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability
1,000 – 100,000 Ohm/sq; 8 % accuracy & 4 % repeatability
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))
Device dimension (w/h/d) 30 x 12 x 26 inch / 760 mm x 310 mm x 660 mm
Weight 20 kg
Available features Metal thickness measurement
Sheet resistance anisotropy sensor
Optical transparency / density, reflection, diffuse transmittance

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 4040SR

Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software
Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR with glass
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software

Produktübersicht weiterer Schichtwiderstand-Messsysteme

EddyCus® TF lab 4040MT – Berührungsfreies Einzelpunkt Metallschichtdicke-Messgerät

Der EddyCus® TF lab 4040MT wurde konzipiert, um die Metallschichtdicke von transparenten und nicht-transparenten Schichten berührungslos zu messen. Durch die Verwendung eines Wirbelstromsensor-Paars erfolgt die Messung berührungsfrei. Die Messung der Metallschichtdicke von Materialien mit bekannter oder konstanter Leitfähigkeit kann daher in Echtzeit durchgeführt werden. Die berührungslose Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung in einem breiten Dickenmessbereich. Dieser beginnt bei einer Schichtdicke von wenigen Nanometern bis hin zur Charakterisierung von dicken Metallschichten und Platten im Millimeterbereich. Der EddyCus® TF lab 4040MT ist in der Lage, Metallschichten zu charakterisieren, die von nicht leitenden Materialien verdeckt sind. SURAGUS bietet materialspezifische Setups für sehr dünne Schichten, sehr dicke Metalle und häufig verwendete Legierungen. Das Wirbelstromverfahren ist äußerst robust und zeichnet sich durch eine hohe Wiederholgenauigkeit und hohe Präzision aus. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass es weder optische Transparenz noch einen physikalischen Kontakt zur Ermittlung der Metallschichtdicke erfordert. Daher kann es in sehr vielen Anwendungsbereichen z.B. bei schnellen Qualtitäschecks wie Stichproben oder einer systematischen Qualitätssicherung angewendet werden.

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktionen
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings

Datenblatt des EddyCus® TF lab 4040MT

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer
Substrate area 29.5 x 25.6 inch / 750 mm x 650 mm
(for measurement of 16inch) / 400 mm x 400 mm samples)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (defined by the thickest sample / application)
Metal thickness range 1 – 20 nm; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability (specific SURAGUS thickness models may apply)
0.02 – 200 µm; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
200 – 2000 µm; 2 % accuracy & 1 % repeatability
Sheet resistance of thin films (ITO) 0.1 mOhm/sq to 100 kOhm/sq
Device dimension (w/h/d) 30 x 12 x 26 inch / 760 mm x 310 mm x 660 mm
Weight 20 kg
Available features Sheet resistance
Electrical anisotropy sensor
Optical transparency/Density

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 4040MT

Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software
Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR with glass
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software

Produktübersicht weiterer Metallschichtdicken-Messsysteme

EddyCus® TF lab 4040HS – Berührungsfreies Messgerät für die Messung des Schichtwiderstands, der optischen Transmission, Reflektanz und Haze

Der EddyCus® TF lap 4040HS ermöglicht die gleichzeitige Messung von

  • Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Optische Transmission [%] / Absorptionsgrad / Optische Dichte

Die Herausforderung bei der Entwicklung und Produktion transparenter, leitfähiger Schichten besteht darin, den bestmöglichen Kompromiss zu erreichen zwischen:

  • Niedriger Schichtwiderstand [Ohm/sq]
  • Hohe optische Transmission [%]
  • Niedrige Kosten [z.B. Euro/m²]

Abhängig vom Anwendungsbereich müssen der Schichtwiderstand und die optische Transmission / optische Dichte jeweils ein bestimmtes Niveau einhalten. Zudem sind die Homogenität von Schichtwiderstand und Transparenz sowie die lokale Fehlerfreiheit von Interesse.

Vorteile

  • Berührungslose und simultane Echtzeit-Messung von Schichtwiderstand und optischer Transparenz

Anwendungen

  • Schichtwiderstand und optische Transmission
  • Optimierung von Schichtsystemen
  • Einzelpunktmessung
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 400 x 400 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 1.000 Ohm/sq Schichtwiderstand und 0 – 100 % optische Transmission

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktionen
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings 

 

Berührungsfreie Messsystem für große Proben SURAGUS EddyCus® TF lab 4040HS

Datenblatt des EddyCus® TF lab 4040HS

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Optical transmittance Wavelength 632 nm
Substrates e.g. foil, glass and wafer
Substrate area 29.5 x 25.6 inch / 750 mm x 650 mm
(for measurement of 16inch) / 400 mm x 400 mm samples)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.0001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 500 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
100 – 1,000 Ohm/sq; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability
Optical transmittance range 0 – 100 %
Resolution of 0.1 %
Accuracy better 0.2 %
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance)
Device dimension (w/h/d) 30 x 12 x 26 inch / 760 mm x 310 mm x 660 mm
Weight 20 kg
Available features Anisotropy sheet resistance sensor 0.001 – 3,000 Ohm/sq

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 4040HS

Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software
Glass_TF_lab_4040SR-T-R-H_close_up.jpg
Glass_TF_lab_4040SR-T-R-H_front_close_up.jpg

EddyCus® TF lab 4040A – Berührungsfreies Messsystem für die Messung der elektrischen Anisotropie und des Schichtwiderstands

Der EddyCus® TF lab 4040A wurde entwickelt, um die Richtung des Schichtwiderstands und damit die elektrische Anisotropie zu bestimmen. Das Gerät ist für Produkte relevant, die eine hohe optische Transparenz mit einer guten Leitfähigkeit in einer bestimmten Richtung benötigen.

Für die Herstellung bestimmter Schichten sind anisotrope Schichtwiderstände wichtig, um eine möglichst effiziente Beschichtung zu erreichen. SURAGUS bietet Schichtwiderstand-Messgeräte mit integriertem Schichtwiderstands-Anisotropiesensor zur präzisen Bestimmung und Messung gerichteter Schichtwiderstände.

Vorteile

  • Kontaktfreie Messung in Echtzeit
  • Präzise Schichtwiderstandsmessung (Ohm/sq oder mOhm/sq) und manuelles Mapping von leitfähigen Schichten bis zu einer Probengröße von 400 mm x 400 mm
  • Dickemessung für Substrate mit konstanter Leitfähigkeit (µm)

Begriffe und Konzept

  • "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
  • Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen

Elektrische Anisotropie…

  • …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
  • …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern

 

Informationen

  • Schichtwiderstand (Ohm/sq)
    • Maschinenrichtung MD (Ohm/sq)
    • Traversierrichtung TD (Ohm/sq)
  • Kombinierter Schichtwiderstand (Ohm/sq)
  • Anisotropie
    • Verhältnis TD/MD
    • Anisotropie (%)

Typische Materialien

  • Nano-drähte (Ag, Pt, Au etc.)
  • Metallgewebe und -gitter (Cu, Au, etc.)
  • Karbon Nano Röhren
  • Nanostäbe

Anisotropie Beschreibung

aniso ratio.jpg
aniso percent.jpg

 

 

 

 

Electrical Anisotropy.PNG
Electrical Anisotropy2.PNG

Datenblatt des EddyCus® TF lab 4040A

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer
≥ 25 mm x 25 mm
Substrate area 29.5 x 25.6 inch / 750 mm x 650 mm
(for measurement of 16inch) / 400 mm x 400 mm samples)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.01 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 3,000 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
Anisotropy ratio 0.33 – 3
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance)
Device dimension (w/h/d) 30 x 12 x 26 inch / 760 mm x 310 mm x 660 mm
Weight 20 kg
Available features Isotropic sensors
Optical transmittance at 632 nm wavelength

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 4040A

SURAGUS_EddyCus_TF_4040SR-A_front.jpg
SURAGUS_EddyCus_TF_4040SR-A_isometric.jpg
Foil_SURAGUS_EddyCus_TF_4040SR-A_top_focus.jpg
Foil_SURAGUS_EddyCus_TF_4040SR-A_isometric_sample_focus.jpg

Produktübersicht weiterer Schichtwidertstand und elektrische Anisotropie-Messsysteme

EddyCus® TF lab 4040HF – Messgerät für Permittivitäts-, Leitfähigkeits- und Permebilitätsbezogene Messaufgaben

Der EddyCus® TF lab 4040HF ist ein Multi-Parameter-Messsystem.

Software und Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Intuitive, Touchdisplay-fähige Navigation
  • Echtzeit-Erfassung von Schichtwiderstand und Schichtdicke
  • Sammlung und Speicherung von Datensätzen sowie Datenexport-Funktionen
  • Möglichkeit des softwareunterstützten, manuellen Schichtwiderstand-Mappings

Datenblatt des EddyCus® TF lab 4040HF

Sheet resistance measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates e.g. foil, glass and wafer, etc.
≥ 25 mm x 25 mm
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open to three sides)
Max. sample thickness / sensor gap (defines distances) 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range

accuracy can be optimized over sheet resistance decade
within a customer specified range
0.001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 3,000 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
Anisotropy ratio 0.33 – 3
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) 1 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance)
Device dimension (w/h/d) 11.4 x 5.5 x 17.5 inch / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Available features Metal thickness measurement

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 4040HF

Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software
Single Point sheet resistance measurement device EddyCus® TF lab 4040SR with foil
Single point thin-film characterization device EddyCus® TF lab 4040SR with glass
Single point sheet resistance tester EddyCus® TF lab 4040SR with wafer
Measurement of sheet resistance EddyCus® TF lab 4040SR with foil and software

Produktübersicht weitere permittivitäts-, leitfähigkeits- und permebilitätsbezogene Messgeräte

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