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Kontaktfreies Schichtwiderstand, Metallschichtdicke, Widerstand und Anisotropie Mapping System
Der EddyCus TF map 5050SR ist ein berührungsfreier Scanner für die hochauflösende Visualisierung des Schichtwiderstandes oder korrelierender Eigenschaften wie Metalldicken. Das System ist geeignet für Probengrößen von 50 x 50 mm bis 500 x 500 mm. Das Tischgerät (bench-top) ermittelt selbständig den Schichtwiderstand an einer Vielzahl von Messpunkten, typischerweise in einem Raster in X und Y von 1 mm. Somit wird ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche erzeugt Es entstehen hochauflösende Eigenschaftsbilder mit vielen Tausend Messpunkten in wenigen Sekunden bzw. Minuten, welche eine Vielzahl von Informationen für die Schichtentwicklung und Qualitätssicherung enthalten.
Vorteile
- Berührungslose live Messung
- Hochauflösende Messung mit 1 mm Messpunktabstand (0.25 bis 10 mm Pitch bestellbar)
- Probenauflage 500 x 500 mm (20 x 20 inches)
- Messung ist unabhängig von Kontaktqualität im vgl. zu kontaktierenden Verfahren
- Hochauflösende Mappings von leitfähigen Dünnschichten zeigen Material und Prozess-Inhomogenitäten
- Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
- Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Histogramm, Standardabweichung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
- Laden, Speichern und Exportieren von Mess- und Mappingdaten
- Nutzerfreundliche PDF Reportingfunktion für systematische Dokumentationen
Varianten
Die Geräte können mit unterschiedlichen Wirbelstromsensoren ausgestattet werden:
- Schichtwiderstand – EddyCus® TF map 5050SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
PDF (695,3 KB)
- Metallschichtdicke – EddyCus® TF map 5050MT [nm, µm, mm, mil]
PDF (1,0 MB)
- Widerstand und Leitfähigkeit – EddyCus® TF map 5050RM [mOhm cm, MS/m]
PDF (1,0 MB)
- Elektrische Anisotropie – EddyCus® TF map 5050A (MD/TD)
PDF (713,8 KB)
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Kombinationen aus den obigen Varianten sind ebenfalls möglich (z.B. 5050SR-MT-A).
Eigenschaften
- Technologie: berührungsfreier Wirbelstromsensor
- Probenauflage: 500 x 500 mm
- Empfohlene Probengröße: 1 bis 20 inch / 25 mm bis 500 mm
- Messungen:
- Schichtwiderstand: 0,1 mOhm/sq bis 100 Ohm/sq
- Metallschichtdicke: 1 nm bis 2 mm (Andere auf Nachfrage)
- Elektrische Anisotropie: 0,3 - 3
- Prozesse
- Abscheidung (Sputtern, Verdampfen, ALD, CVD, Galvanik, Drucken, Gießen etc.)
- Abtragen (Ätzen, Polieren, Lasern etc.)
- Dotierung
- Tempern
Einsatzgebiete
- F&E und QS von leitfähigen Schichten und Schichtsysteme
- Metallische Schichten und Metallfolien
- Photovoltaik (Si und Dünnschicht PV)
- Wafer Metallisierungen
- Smart-Glas Anwendungen / elektrochromes Glas / Dynamisches Glas / intelligentes Glas
- Architekturglas (LowE)
- Spiegelschichten
- Reflexionsschichten
- Elektroden in Energiespeicher
- Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien
- Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
- Kondensatorfolien
- Batterieelektroden
- Displays, Touchscreens
- OLED & LED-Anwendungen
Materialien und Schichten
- Leitfähige Oxidschichten TCO (ITO, AZO, FTO etc.)
- Dünne Metallschichten (5nm bis 2 mm je nach Leitfähigkeit)
- Dotierte Halbleiter (z.B. Silizium)
- Metall Gitterstrukturen (Metal Meshes) und Metalldraht Strukturen (Ag-NW)
- Graphene, Graphite und Carbon Nano Tubes (CNT)
- Leitfähige Tinten und Lacke
- Andere leitfähige Dünnschichten
Software und Bedienung
- Einfach zu bedienende Software
- Auswahl der Substratgröße
- Auswahl des Messpunktabstands
- Start der Messung
- Datenaggregation in Echtzeit
- Randnahe Messungen
- Automatischer Scan oder manuelle Messung
- Einfach zu bedienende statistische Analysemöglichkeiten
- Selektive Bildanalyse
Linienprofil-Analyse
Histogramm-Analyse - Statistik (Min, Max, Durchschnitt, Varianz)
- Selektive Bildanalyse
- Exportieren
- Bildexport mit verschiedenen Farbschemata
- PDF-Bericht (Beispielbericht)
- Datenexport als txt zum Import in Excel oder Origin
- Datenspeicherung, Datenladen und Neuanalyse
Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter
EddyCus® TF map 5050SR – Berührungsfreies bildgebendes Schichtwiderstandsmessgerät
Der EddyCus® TF map 5050SR ist ein berührungsloses Messsystem zur Abbildung des Schichtwiderstandes. Das Gerät ist mit einer beweglichen Probenaufnahme ausgestattet. Der Wirbelstromsensor kann dadurch den Schichtwiderstand an bis zu 90.000 (300 mm x 300 mm bei 1 mm Messpunktabstand) Messpunkten pro Scan messen. Da diese Technologie keinen physischen Kontakt zur Probe erfordert, führt das Gerät durchgängig Messungen während der Traversierung durch. Zusätzlich zeichnet es sich durch eine hohe Genauigkeit aus, da es keinen negativen Einfluss durch eine mindere Kontaktqualität auf die Messung gibt. Die hohe Anzahl an Messpunkten verteilt über die gesamte Probe stellt sicher, dass keine Effekte oder Defekte übersehen werden. Darüber hinaus unterstützen die umfangreichen Analysefunktionen eine systematische Qualitätssicherung verschiedenster Dünnschichten in Fertigungs- und F&E-Laboren.
Datenblatt des EddyCus® TF map 5050SR
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | 2 / 4 / 6 / 8 / 12 inch wafer |
| Max. scanning area | 20 inch / 508 mm x 508 mm (larger upon request) |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample) |
| Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper) | 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ()) |
| Scanning pitch | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 10,000 measurement points in 3 minutes 1,000,000 measurement points in 30 minutes |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 0.6 to 6 minutes (1 – 10mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 0.9 to 9 minutes (1 – 10mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) | 46.5“ x 11.4“ x 35.4“ / 1,180 mm x 290 mm x 900 mm |
| Weight | 120 kg |
| Further available features | Metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor |
| VLSR | LSR | MSR | |
|---|---|---|---|
| 6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | |||
| Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.01 – 10 | 0.1 – 100 |
| Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 2% | ± 1 – 3% |
| Repeatability (2σ) | < 0.5% | < 1% | |
| VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance | |||
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- Anfragen für eine online oder live Demonstration
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Produktübersicht weiterer Schichtwiderstandmessgeräte
EddyCus® TF map 5050MT – Berührungsfreies bildgebendes Metallschichtdickenmessgerät
Der EddyCus® TF map 5050MT ist ein berührungsloses Dickenmesssystem, das unabhängig von optischen Eigenschaften arbeitet. Das Gerät nutzt einen berührungsfreien Wirbelstromsensor, um die Dicke eines beliebigen Materials mit bekannter Leitfähigkeit oder charakteristischem Leitfähigkeitsprofil, wie bei Metallen oder Legierungen, zu bestimmen. Diese berührungsfreie Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung für einen großen Bereich unterschiedlicher Dicken, der bei wenigen Nanometern beginnt und bis in den Millimeterbereich reicht. Zusätzlich kann sie auch auf Folien angewendet werden, die von nichtleitenden Materialien ummantelt sind. Das Messverfahren ist sehr robust und zeichnet sich durch eine hohe Reproduzierbarkeit und hohe Genauigkeit aus. Die Unabhängigkeit von den optischen Eigenschaften ist vorteilhaft für verschiedene Branchen, die nicht-transparente Metallbeschichtungen abscheiden. Dieses kompakte Tischgerät wird für einen breiten Anwendungsbereich für schnelle Tests oder systematische Qualitätssicherung in Fertigungs-, F&E- und Prüflaboren eingesetzt.
Datenblatt des EddyCus® TF map 5050MT
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor |
| Substrates | Wafer, glass, foil, etc. |
| Max. scanning area | 20 inch / 508 mm x 508 mm (larger on request) |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 15 / 25 mm (other upon request) |
| Metal thickness range Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver) |
Low 1 – 10 nm; < 5 % accuracy Standard 10 – 1,000 nm; < 3 % accuracy High 1 – 100 µm; < 3 % accuracy |
| Metal thickness calibration | Direct thickness calibration / sheet resistance conversion |
| Sheet resistance range (optional) | 0.1 mOhm/sq – 100 Ohm/sq (in 5 ranges) |
| Parameter conversions | Sheet resistance, emissivity |
| Scanning pitch (x, y) | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request) |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – 10mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) | 46.5“ x 11.4“ x 35.4“ / 1,180 mm x 290 mm x 900 mm |
| Weight | 120 kg |
| Further available features / other tool configurations | Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / anisotropy / permeability (beta) |
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Produktübersicht weiterer Metallschichtdicken-Messsysteme
EddyCus® TF map 5050RM – Abbildung des Widerstands und der Leitfähigkeit sowie Defekterkennung von Dünnschichten
Eine Vielzahl von Materialeigenschaften bestimmt die Leitfähigkeit eines Werkstoffes. Neben der Zusammenstellung hat auch die Struktur und die Reinheit eines Werkstoffs einen Einfluss auf die Leitfähigkeit. Der EddyCus® TF map 5050RM ist ein Wirbelstrombasiertes bildgebendes Messsystem. Es wurde entwickelt um hochauflösende Flächenscans der Leitfähigkeit und korrelierender Materialeigenschaften zu erstellen. Dadurch können Effekte und Defekte des Materials schnell und präzise entdeckt werden. Das Messsystem kann mit verschiedenen EddyCus®-Sensoren ausgestattet werden. Das erlaubt es die Leitfähigkeitscans mit einer hohen Auflösung oder mit einer hohen Eindringtiefe und Defekterkennung zu erstellen. Das Messgerät unterstützt die Erstellung von Flächenscans (Eddy Current C-Scans) der Oberfläche mit einem Messpunktabstand von 100 µm bis zu 10 mm. Das Drei-Achs-System ermöglicht Scans in 2D und 2,5D mit einer maximalen Probengröße von 500 mm x 500 mm (20 inch x 20 inch). Typische Anwendungen betreffen die Oberflächencharakterisierung von leitfähigen Materialien wie SiC-, Graphite-, Metall-, Legierungen- und Stahlplatten oder andere leitfähige Halbzeuge. Des Weiteren kann das Messsystem für die Bestimmung der elektrischen Integrität von gedruckten Elektroniken und Schichten verwendet werden.
Die Wirbelstromprüfung ermöglicht die Quantifizierung der Materialleitfähigkeit [IACS oder MS/m] oder des spezifischen Widerstandes [Ohm m oder Ohm mm² / m]. Die Leitfähigkeit von Materialien gibt Auskunft über Materialeigenschaften wie Materialart und Homogenität der Materialzusammensetzung. Neben der direkten Information über elektrische Eigenschaften enthält die Leitfähigkeit auch Informationen, die sich auf die thermischen und mechanischen Eigenschaften sowie die strukturelle Integrität beziehen.
Spezifikation
- Messbereich: 0.01 – 65 MS/m (0.1 – 110 % IACS)
- Probengröße: 5 x 5 mm to 500 x 500 mm
- Probenform: flache und gewölbte Oberflächen
- Austauschbare Sensoren für spezifische Messaufgaben
- Kundenspezifischer Probenhalter in Bezug auf Layout und Form zugeschnitten auf die Probenabmessungen
- Datenanalyse-, Export- und Reportfunktion
Die Leitfähigkeitsbestimmung und -darstellung gibt Aufschluss über:
- Materialtyp und Materialreinheit
- Bewertung der Materialzusammensetzung und deren Veränderung über die Fläche
- Verunreinigungen/ Dotierung
- Abweichungen im Gefüge und strukturelle Integrität
- Erstarrungsverhalten von Gusswerkstoffen
- Von der Leitfähigkeit beeinflusste Materialeigenschaften wie Härte, Spannung, Korngrenzen und andere Eigenschaften
Datenblatt des EddyCus® TF map 5050RM
| Measurement technology | High frequency eddy current sensor |
| Substrates | Flat, slightly curved |
| Materials | Wafer, boules, pucks, plates, thin film |
| Max. scanning area | 20 inch / 500 mm x 500 mm x 10 mm |
| Edge effect correction / exclusion | 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample) |
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Resistivity range accuracy can be optimized within a customer specified range |
0.002 – 0.1 mOhm cm 0.1 – 100 mOhm cm 100 – 1,000 mOhm cm |
| Scanning pitch | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 100 measurement points in 5 minutes 10,000 measurement points in 5 minutes |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – 10 mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) / weight | 46.5” x 11.4” x 35.4” / 1,180 mm x 290 mm x 900 mm / 120 kg |
| Further available features | Metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor |
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EddyCus® TF map 5050A – Berührungsfreies bildgebendes Messsystem zur Darstellung der elektrischen Anisotropie und des Schichtwiderstands
Der EddyCus® TF map 5050A (Anisotropie) ist ein einzigartiges bildgebendes Messsystem zur Darstellung der elektrischen Anisotropie. Es liefert räumlich aufgelöste Anisotropie-Scans, um ein tieferes Verständnis der dominierenden Richtung von Leitungsstrukturen zu erlangen. Das Messsystem verwendet Wirbelstromsensoren, die Ströme in eine bestimmte Richtungen induzieren. Das resultierende Bild zeigt die dominierende Richtung des Stromflusses, die Anisotropiestärke und den resultierenden Schichtwiderstand. Dieses einzigartige Werkzeug ist nützlich für die Charakterisierung von Drahtstrukturen wie Silber-Nanodrähten (Ag-NW), CNTs, Metallgittern oder Nanostabstrukturen. Bewusst anisotrop angeordnete Nanodrähte bieten im Vergleich zu isotropen Nanodrahtelektroden mit entgegengesetzter Kontaktstruktur eine bessere Kombination aus Schichtwiderstand und optischer Transparenz. Diese zerstörungsfreie Prüfmethode spart Zeit und stellt sicher, dass der Depositionprozess die erforderliche Richtung und den erforderlichen Widerstand erreicht. Dieses Werkzeug kann für schnellen Qualitätschecks oder zur systematischen Qualitätssicherung eingesetzt werden.
Begriffe und Konzept
- "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
- Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen
Elektrische Anisotropie…
- …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
- …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern
Datenblatt des EddyCus® TF map 5050A
| Measurement technology | Non-contact eddy current sensor with directed current induction |
| Substrates | Foils, glass, wafer, etc. |
| Max. scanning area | 20 inch / 508 mm x 508 mm (larger upon request) |
| Max. sample thickness / sensor gap | 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application) |
| Sheet resistance range | 0.01 – 100 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy |
| Anisotropy range (TD/MD) | 0.33 – 3 (larger upon request) |
| Scanning pitch | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request) |
| Measurement points per time (square shaped samples) | 10,000 measurement points in 5 minutes 1,000,000 measurement points in 30 minutes |
| Scanning time | 8 inch / 200 mm x 200 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – 10mm pitch) 12 inch / 300 mm x 300 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10mm pitch) |
| Device dimensions (w/h/d) | 46.5“ x 11.4“ x 35.4“ / 1,180 mm x 290 mm x 900 mm |
| Weight | 120 kg |
| Further available features | Metal thickness, sheet resistance, resistivity imaging |
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- Anfragen bezüglich einer Online oder Live-Demonstration
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Bilder des EddyCus® TF lab 5050A
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