Kontaktfreies Schichtwiderstand, Metallschichtdicke, Widerstand und elektrisches Anisotropie-Mapping System
EddyCus® TF map 2525 Series

Der EddyCus TF map 2525 misst automatisiert und berührungsfrei den Schichtwiderstand von Substraten zwischen 50 x 50 mm² und 250 x 250 mm². Nach der manuellen Probenpositionierung erstellt das Messgerät selbständig ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche. Die Messung ist durch den Nutzer einfach konfigurierbar, z.B. für schnelle Messzeiten von unter 1 Minute oder für hohe örtliche Auflösung mit mehr als 100.000 Messpunkten.

Vorteile

  • Berührungslose Echtzeit-Messung von Substraten bis 250 x 250 mm²
  • Hochauflösendes Schichtwiderstand Mapping von leitfähigen Dünnschichten
  • Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
  • Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Schichtwiderstandsverteilung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
  • Speicherung und Export von Messdaten und Mappingdaten

Varianten

Messanwendungen

  • Schichtwiderstand
  • Prüfung der Schichthomogenität
  • Defektoskopie und Schichtanalyse
  • Messung und Mapping der Schichtdicke metallischer Schichten
  • Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
  • Substratgrößen: 50 x 50 mm² bis 250 x 250 mm²
  • Messbereich: 0,001 – 100 Ohm/sq

Einsatzgebiete

  • Architekturglas (LowE-Schichten)
  • Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
  • OLED & LED-Anwendungen
  • Smart-glass Anwendungen
  • Graphen-Schichten
  • Photovoltaik-Wafer und Zellen 
  • Halbleiterwafer
  • Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
  • Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
  • Batterieelektroden
  • beschichtetes Papier und leitfähige Textilien

ANGEBOT ANFORDERN

 

Software & Bedienung

  • Hohe Bedienungsfreundlichkeit
  • Schnelles, automatisiertes Mapping in Echtzeit
  • Einfach zu handhabende statistische Analysefunktionen
  • Vielfältige Auswertungsmöglichkeiten und Datenexport-Funktionen 
Analysesoftware für abbildendes Schichtwiderstandsmessgerät EddyCus® TF map 2525SR

Bitte wählen Sie im Folgenden Ihren bevorzugten Messparameter

Schichtwiderstand

Metallschichtdicke

Widerstand Leitfähigkeit

Elektrische Anisotropie

Nassbeschichtungsdicke und Restfeuchte

EddyCus® TF map 2525SR – Berühungsloses bildgebendes Schichtwiderstandmesssytem

Der EddyCus® TF map 2525SR ist ein berührungsloses bildgebendes Schichtwiderstandsmesssystem. Das Gerät ist mit zwei traversierenden Wirbelstromsensor ausgestattet, die den Schichtwiderstand an bis zu 62.500 (250 x 250) Messpunkten pro Scan messen. Das Wirbelstromverfahren benötigt keinen physischen Kontakt zur Probe, wodurch das Messgerät die Messungen ohne Unterbrechungen durch den Kontaktaufbau durchführen kann. Zusätzlich zeichnet sich der EddyCus® TF map 2525SR durch eine hohe Messgenauigkeit aus, da durch die kontaktlose Messung, die Kontaktqualität zur Probe keine Rolle spielt. Die große Anzahl an Messpunkten stellt sicher, dass keine Effekte oder Defekte übersehen werden. Darüber hinaus unterstützen die umfangreichen Analysefunktionen der Software eine systematische Qualitätssicherung verschiedenster Dünnschichten in Fertigungs- und F&E-Laboren.

Datenblatt des EddyCus® TF map 2525SR

Measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Foils, glass, wafer, etc.
Max. scanning area 10 inch / 254 mm x 254 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper) 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Scanning pitch 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 100 measurement points in  0.5 minutes
10,000 measurement points in 3 minutes
Scanning time 4 inch / 100 mm x 100 mm in 0.5 to 3 minutes (1 – 10mm pitch)
8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) 23.6“ x 9.05“ x 31.5“ / 549 mm x  236 mm x 786(836) mm
Weight 27 kg
Further available features Metal thickness imaging, anisotropy sheet resistance sensor, resistivity/conductivity, material composition
  VLSR LSR MSR
  6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq] 0.0001 – 0.1 0.01 – 10 0.1 – 100
Accuracy / Bias ± 1% ± 1 – 2% ± 1 – 3%
Repeatability (2σ) < 0.5% < 1%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance

 

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Bilder des EddyCus® TF map 2525SR

Sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Sheet resistance mapping device EddyCus® TF map 2525SR
Mapping of sheet resistance EddyCus® TF map 2525SR
Thin-film sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Foil_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Glass_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Wafer_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg

Produktübersicht weiterer Schichtwiderstand-Messsysteme

EddyCus® TF map 2525MT – Berührungsfreies bildgebendes Metallschichtdicken-Messsystem

Der EddyCus® TF map 2525MT ist ein berührungsloses Dickenmesssystem, das nicht auf die optischen Eigenschaften des zu untersuchenden Materials angewiesen ist. Das Messsystem nutzt stattdessen ein berührungsloses Wirbelstromsensorpaar, um die Dicke einer Schicht zu bestimmen. Mit Hilfe des Geräts können beliebige Materialien mit bekannter Leitfähigkeit oder charakteristischem Leitfähigkeitsprofil wie Metalle oder Legierungen untersucht werden. Die berührungslose Wirbelstrombasierte Prüftechnik ermöglicht eine präzise Messung für einen großen Dicken-Messbereich, der bei wenigen Nanometern beginnt und bis hin zu einigen Millimetern reicht. Ein weiterer Vorteil der Verwendung des Wirbelstromverfahrens ist die Anwendung auf Schichten, die von nichtleitenden Materialien ummantelt sind. Das Wirbelstromverfahren ist sehr robust und zeichnet sich durch eine hohe Reproduzierbarkeit und hohe Genauigkeit aus. Die Unabhängigkeit von den optischen Eigenschaften ist vorteilhaft für verschiedene Branchen, die nicht-transparente Metallschichten abscheiden. Dieses kompakte Tischsystem wird für einen breiten Anwendungsbereich für schnelle Qualitätschecks oder systematische Qualitätssicherung in Fertigungs-, F&E- und Prüflaboren eingesetzt.

Datenblatt des EddyCus® TF map 2525MT

Measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Wafer, glass, foil, etc.
Max. scanning area 10 inch / 254 mm x 254 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 15 / 25 mm (other upon request)
Metal thickness range
Accuracies depend on the selected setup and the type / conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver)
Low             1 – 10 nm; < 5 % accuracy
Standard    10 – 1,000 nm; < 3 % accuracy
High            1 – 100 µm; < 3 % accuracy
Metal thickness calibration Direct thickness calibration / sheet resistance conversion
Scanning pitch (x, y) 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 100 measurement points in   0.5 minutes
10,000 measurement points in 5 minutes
Scanning time 4 inch / 100 mm x 100 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – 10mm pitch)
8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) 23.6“ x 9.05“ x 31.5“ / 549 mm x  236 mm x 786(836) mm
Weight 27 kg
Further available features / other tool configurations Sheet resistance measurement / conductivity / resistivity / anisotropy / permeability (beta)

 

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Bilder des EddyCus® TF map 2525MT

Sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Sheet resistance mapping device EddyCus® TF map 2525SR
Mapping of sheet resistance EddyCus® TF map 2525SR
Thin-film sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Foil_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Glass_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Wafer_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg

Produktübersicht weiterer Metallschichtdicken-Messgeräte

EddyCus® TF map 2525RM – Bildgebendes Widerstandsmessgerät und Defekterkennung in Dünnschichten

Eine Vielzahl von Materialeigenschaften bestimmt die Leitfähigkeit von Werkstoffen. Die Leitfähigkeit wird neben der Zusammensetzung auch von der Struktur und der Reinheit eines Werkstoffes beeinflusst. Der EddyCus® TF map 2525RM ist ein bildgebendes Messsystem, dass das Wirbelstromverfahren für die hochauflösende Abbildung der Leitfähigkeit und korrelierter Merkmale, Materialeigenschaften, Effekte und Defekte verwendet. Das Messsystem kann mit verschiedenen EddyCus-Sensoren ausgestattet werden. Die Bildgebung der Leitfähigkeit kann entweder mit hoher Auflösung oder mit hoher Eindringtiefe und Defekterkennung konfiguriert werden. Der EddyCus® TF map 2525RM erstellt Scans (Eddy Current C-Scans) der Oberfläche mit einem Punktabstand von 100 µm bis zu 10 mm. Das dreiachsige System ist in der Lage, 2D- und 2,5D-Flächen mit einer Größe von bis zu 250 x 250 mm / 10 x 10 inch zu scannen. Typische Anwendungen umfassen die Oberflächencharakterisierung von leitfähigen Materialien (z.B. SiC-, Graphit-, Metall-, Legierungs- oder Stahlplatten) oder anderen leitfähigen Halbzeugen. Zusätzlich kann das System zur Prüfung der elektrischen Integrität von gedruckter Elektronik und Schichten eingesetzt werden.

Die Wirbelstromprüfung ermöglicht die Quantifizierung der Materialleitfähigkeit [IACS oder MS/m] oder des spezifischen Widerstandes [Ohm m oder Ohm mm² / m]. Die Leitfähigkeit von Materialien gibt Aufschluss über Materialeigenschaften wie Materialart und Homogenität der Materialzusammensetzung. Neben der direkten Information über elektrische Eigenschaften enthält die Leitfähigkeit auch Informationen, die sich auf die thermischen Eigenschaften oder die mechanischen Eigenschaften und die strukturelle Integrität beziehen.

Spezifikation

  • Messbereich: 0.1 – 110 % IACS
  • Probengröße: 50 x 50 mm bis 250 x 250 mm
  • Proben: flache und gewölbte Oberflächen
  • Austauschbare Sensoren für spezifische Messaufgaben
  • Kundenspezifischer Probenhalter in Bezug auf Layout und Form angepasst an die Probenabmessungen
  • Datenanalyse-, Export- und Berichtsfunktionen

Die Leitfähigkeitsbestimmung und Leitfähigkeitsdarstellung gibt Aufschluss über:

  • Materialart und -reinheiten
  • Begutachtung der Materialzusammensetzung und Zusammensetzungsvariation
  • Verunreinigungen / Dotierung
  • Abweichungen im Gefüge und strukturelle Integrität
  • Kristallisierungsverhalten von Gusswerkstoffen
  • Merkmale die von der Leitfähigkeit beeinflusst werden wie: Härte, Spannung, Korngrenzen und andere Merkmale

Datenblatt des EddyCus® TF map 2525RM

Measurement technology High frequency eddy current sensor
Materials Wafer, boules, pucks, plates, thin film
Max. scanning area 10 inch / 250 mm x 250 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Resistivity range

accuracy can be optimized within a customer specified range
0.002 – 0.1 mOhm cm
0.1 – 100 mOhm cm
100 – 1,000 mOhm cm
Sheet resistance range
accuracy can be optimized within a customer specified range
Low             0.0001 – 10 Ohm / sq; 2 – 5 % accuracy
Standard    0.001 – 100 Ohm / sq; 2 – 5 % accuracy
Scanning pitch 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 100 measurement points in 5 minutes
10,000 measurement points in 5 minutes
Scanning time 4 inch / 100 mm x 100 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – 10 mm pitch)
8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) / weight 23.6“ x 9.05“ x 31.5“ / 549 mm x  236 mm x 786(836) mm / 27 kg
Further available features Metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor

 

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Bilder des EddyCus® TF map 2525RM

Sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Sheet resistance mapping device EddyCus® TF map 2525SR
Mapping of sheet resistance EddyCus® TF map 2525SR
Thin-film sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Foil_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Glass_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Wafer_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg

EddyCus® TF map 2525A – Berührungsfreies bildgebendes Messsystem zur Darstellung der elektrischen Anisotropie und des Schichtwiderstands

Der EddyCus® TF map 2525A mit Anisotropie-Sensor erlaubt vollflächige ortsaufgelöste Abbildungen des anisotropen Schichtwiderstands und der elektrischen Anisotropie auf Proben bis zu einer Größe von 250 mm x 250 mm.

Vorteile

  • Hochauflösendes Mapping der Schichtwiderstand-Anisotropie von lokal gerichteten leitfähigen Dünnschichten

Messanwendungen

  • Charakterisierung elektrisch anisotroper Schichten
  • isotroper Schichtwiderstand und 0,1 – 100 Ohm/sq anisotroper Schichtwiderstand

Begriffe und Konzept

  • "Schichtwiderstandsanisotropie" bezieht sich auf einen Unterschied im elektrischen Widerstand, der parallel und senkrecht (quer) zur Maschinenrichtung gemessen wird
  • Viele Draht- und Gitterstrukturen können einen anisotropen Flächenwiderstand aufweisen

Elektrische Anisotropie…

  • …kann entsprechend der Anordnung des Kontaktmusters optimiert werden
  • …kann Material einsparen und das Verhältnis von optischer Transparenz zu Schichtwiderstand verbessern

 

Datenblatt des EddyCus® TF map 2525A

Measurement technology Non-contact eddy current sensor with directed current induction
Substrates Foils, glass, wafer, etc.
Max. scanning area 10 inch / 254 mm x 254 mm (larger upon request)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample / application)
Sheet resistance range 0.01 –­­­­ 100 Ohm/sq; 1 to 5 % accuracy
Anisotropy range (TD/MD) 0.33 –­­­ 3 (larger upon request)
Scanning pitch 1 / 2 / 5 / 10 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 10,000 measurement points in 5 minutes
1,000,000 measurement points in 30 minutes
Scanning time 4 inch / 100 mm x 100 mm in 0.5 to 5 minutes (1 – ­­­­10mm pitch)
8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – ­­­­10mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) 23.6“ x 9.05“ x 31.5“ / 549 mm x  236 mm x 786(836) mm
Weight 27 kg
Further available features Metal thickness, sheet resistance, resistivity imaging

 

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Bilder des EddyCus® TF lab 2525A

Sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Sheet resistance mapping device EddyCus® TF map 2525SR
Mapping of sheet resistance EddyCus® TF map 2525SR
Thin-film sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Foil_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Glass_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
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Produktübersicht weiterer elektrische Anisotropie- und Schichtwiderstand-Messsysteme

EddyCus® TF map 2525HF – Nassbeschichtungsdicke- und Restfeuchtemessung

Der EddyCus® TF map 2525HF ist ein bildgebendes Hochfrequenz-Wirbelstrom-Gerät, das für die Material- und Dünnschichtcharakterisierung entwickelt wurde. Das Gerät ist empfindlich für Merkmale, die mit elektrischen, dielektrischen und magnetischen Eigenschaften korrelieren. Typische Anwendungen sind die Beurteilung der Materialzusammensetzung, die Messung von Restfeuchte, Nassschichtdicke oder Permittivität sowie die Bestimmung des Gehalts an leitfähigen (z.B. C, Pt) oder magnetischen (z.B. Co) Materialien. SURAGUS unterstützt auch komplexe Impedanzanalysen, um mit einer einzigen Messung Informationen über elektrische, dielektrische oder magnetische Eigenschaften von Hybridmaterialien abzuleiten. Die genauen Möglichkeiten bezüglich spezifischer Messaufgaben ergeben sich aus einer Rücksprache mit dem SURAGUS-Team.

Beispiel eines Scanergebnisses

Resistivitiy Imaging of a Wafer

Datenblatt des EddyCus® TF map 2525HF

Measurement technology Non-contact high frequency eddy current sensor
Substrates Foils, glass, various containers
Max. scanning area 10 inch / 250 mm x 250 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap Transmission setup: 3 – 50 mm (defined by the thickest sample)
Reflection setups: infinitive (only surface area is analyzed)

Measurement types

Wet thickness (µm) / weight (g/m²) / drying status (%) /
conductivity (MS/m) / resistivity (mOhm cm) / permeabilty (H/m) Beta
Measurement range / accuracy Depends on the measurement task and the material composition and test object volume. Please consult the SURAGUS team
Scanning pitch 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 100 measurement points in 0.5 minutes
10,000 measurement points in 5 minutes
1,000,000 measurement points in 30 minutes
Device dimensions (w/h/d) 23.6” x 9.05” x 31.5” / 549 mm x 236 mm x 786(836) mm
Weight 27 kg
Further available measurements Sheet resistance, metal thickness and anisotropy imaging

 

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Bilder des EddyCus® TF map 2525HF

Sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Sheet resistance mapping device EddyCus® TF map 2525SR
Mapping of sheet resistance EddyCus® TF map 2525SR
Thin-film sheet resistance mapper EddyCus® TF map 2525SR
Foil_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Glass_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg
Wafer_EddyCus_TF_lab_2525SR_sheet_resistance_mapping_device_focus.jpg

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